No.145 (2012年9月)

半導体SiCの基礎と応用

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巻頭言
産学独の豊富な役立つ知識を集約する場の提供を目指して
山部 紀久夫

研究
SiC 技術の進展-なぜいまSiC 技術が重要なのか-
恩田 正一

SiC の基礎物性
吉田 貞史

SiC 単結晶の結晶成長技術
藤本 辰雄

4H-SiC エピタキシャル成長と欠陥制御
土田 秀一 他

SiC ウェハの検査・評価技術
北畠 真

SiC パワーデバイス開発と評価技術
渡部 平司

談話室
研究室紹介
土佐 正弘