開催日時および開催場所
開催日時：平成20 年7 月10 日（木）1１:00～1７:00
開催会場：豊橋技術科学大学 ベンチャービジネスラボラトリ(VBL) 3 階 セミナー室
会費：研究会会員無料、非会員2,000円懇親会：会場 豊橋技科大内ひばりラウンジ、時間 17:30-S19:30、会費 3000 円
開催要領
第１回 集積化MEMS技術研究会プログラム
11:00～12:00 豊橋技術科学大学 CR 見学
講演プログラム
13:30～13:40 委員長挨拶
13:40～14:40 LSI とセンサ／MEMS の融合
○石田 誠 (豊橋技術科学大学)
14:40～15:10 MEMS における付加価値と差別化
○年吉 洋 (東大生産研)
15:10～15:30 coffee break
15:30～16:00 高性能MEMS と最先端LSI との集積化プロセス
○田中秀治（東北大）
16:00～16:30 集積化RF-CMOS-MEMS 技術
○桑原 啓 （NTT）
16:30～17:00 討論会「本研究会に期待すること？（仮）」
○年吉 洋 （東大）、高尾 英邦(豊橋技術科学大学)、田中秀治（東北大） 秦 誠一（東工大）17:30～19:30 懇親会
参加者等
研究会参加者 ５９名
ＣＲ見学者 ４０名
懇親会参加者 ３７名
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LSI とセンサ／MEMS の融合 石田 誠 (豊橋技術科学大学)
MEMS における付加価値と差別化 年吉 洋 (東大生産研)
会員専用