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研究会の活動報告

２００８年11月21日　第二回　集積化MEMS技術研究会、及び　第二回　集積化MEMS技術研究会運営委員会
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２００８年７月１０日　第一回　集積化MEMS技術研究会兼発足会、及び　第一回　集積化MEMS技術研究会運営委員会
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２００８年６月１日　　集積化MEMS技術研究会　発足　正式活動開始

２００８年５月１６日　応用物理学会理事会にて集積化MEMS技術研究会　承認

２００８年４月１５日　応用物理学会常任理事会設立趣旨説明了承