開催日時および開催場所
開催日時： 平成20年11月21日（金） 9:30〜17:00
開催会場： 東京大学生産技術研究所 An棟4階、中セミナー室（An-401, An-402）
会 費： 一般会員、賛助会員、学生会員及び学生非会員、特別会員は無料、非会員は4,000円
懇 親 会 ：東京大学生産技術研究所内。18:00-19:30、会費3,000円。第2回 集積化MEMS技術研究会プログラム
どなたでも閲覧可能
会員専用
Copyright (C) 応用物理学会 集積化MEMS技術研究会. All Rights Reserved.第二回研究会の研究奨励賞は、参加された方のアンケートに基づき、以下の２名の方に決定いたしました。アンケートにご協力いただきありがとうございました。
髙橋 一浩 様
「SOI CMOS-MEMSにおけるMEMSポストプロセスの信頼性評価」
髙橋一浩，藤田博之，年吉 洋、東京大学 生産技術研究所
金 俊亨 様
柔かいシリコンマイクロ構造物とその神経信号解析への応用」
金 俊亨，久保田正則，肥後昭男，三田吉郎、東京大学工学部 先端知機能材料デバイスラボラトリーズ