| 開催日 |
名 称 |
| 2012年5月18日 |
第６回集積化MEMS技術研究会
<講演資料ダウンロード>
・上田政則 (太陽誘電) 「AlN薄膜を使用したFBARデバイスの開発」
・藤井隆満 (富士フイルム) 「RFスパッタリング法による高圧電定数Nb-PZT薄膜の作製」
・清水勝 (兵庫県立大) 「MOCVD法によるナノ強誘電体Pb(Zr,Ti)O3の作製」
・神野伊策 (神戸大) 「金属基板上に形成したPZT圧電薄膜デバイス」
・小林健 (産総研) 「ゾルゲル法によるPZT薄膜の形成とセンサへの応用」
・赤井大輔 (豊橋技科大) 「シリコン基板上のエピタキシャルPZT薄膜と超音波トランスデューサへの応用」
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| 2011年9月26〜27日 |
マイクロ・ナノ産業化シンポジウム |
| 2011年5月20日 |
第５回集積化MEMS技術研究会 |
| 2010年10月14〜15日 |
第二回集積化MEMSシンポジウム |
| 2010年9月15日 |
2010年（平成２２年）秋季講演会応物 第2回インフォーマルミーティング |
| 2010年9月14日 |
2010年（平成２２年）秋季講演会応物シンポジウム
異種機能集積化：The Road to The Destructive Innovation |
| 2010年7月26〜31日 |
社会人向け「第３０回集積回路技術講習会」(協賛) |
| 2010年7月9日 |
第２回集積化ＭＥＭＳ技術ワークショップ |
| 2010年6月17日 |
電気学会 センサ・マイクロマシン部門（E部門）平成２２年度総合研究会 |
| 2010年6月4日 |
センシング応用セミナー |
| 2010年6月1日 |
豊橋技術科学大学 平成２１年度 VBL研究成果報告会 |
| 2010年3月19日 |
第６０回東京工業大学精密工学研究所シンポジウム（協賛） |
| 2010年3月18日 |
応用物理学会スクール ２０１０年春季 「集積化ＭＥＭＳ技術−基礎から応用」 |
| 2010年1月21日 |
第4回集積化MEMS技術研究会 |
| 2009年12月3日 |
セミコン・ジャパン2009応用物理学会企画基調講演
-集積化MEMS技術の現状と今後の展開- |
| 2009年10月16日 |
第２６回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 集積化MEMSシンポジウム |
| 2009年9月9日 |
２００９年秋季 応用物理学会 学術講演会 集積化ＭＥＭＳ技術研究会インフォーマル会合 |
| 2009年7月14日 |
第1回 集積化MEMS技術研究ワークショップ |
| 2009年5月22日 |
第3回 集積化MEMS技術研究会
第4回 集積化MEMS技術研究会運営委員会 |
| 2009年3月31日 |
2009年(平成21年)春季 第56回応用物理学会関係連合講演会シンポジウム
第3回 集積化MEMS技術研究会運営委員会 |
| 2008年11月21日 |
第2回 集積化MEMS技術研究会
第2回 集積化MEMS技術研究会運営委員会 |
| 2008年7月10日 |
第1回 集積化MEMS技術研究会兼発足会
第1回 集積化MEMS技術研究会運営委員会 |
| 2008年6月1日 |
集積化MEMS技術研究会 発足 正式活動開始 |
| 2008年5月16日 |
応用物理学会理事会にて集積化MEMS技術研究会 承認 |
| 2008年4月15日 |
応用物理学会常任理事会設立趣旨説明了承 |
