| 主 催 | 応用物理学会九州支部 |
| 開 催 日 時 |
令和3年3月25日（木） 10:30〜11:30 |
| 場 所 | 九州大学伊都キャンパス ウエスト２号館５４７号室 ※BlueJeansによるオンライン開催も同時に行います。参加希望の方は下記世話人まで連絡ください。 |
| 講師 | 薮田久人 氏（キヤノン株式会社R&D本部） |
| 演 題 | マグネトロンスパッタリング法による酸化物半導体薄膜の開発とその評価 |
| 概 要 | 酸化物半導体はスマートフォン用小型液晶ディスプレイのスイッチング素子などに利用されています。本講演ではスパッタリング法を用いて作製した酸化物半導体の微視的構造と電気特性の関係、および評価方法について、主にアモルファスIn-Ga-Zn-OやSnOxの事例を紹介し解説します。 | 世話人 | 板垣奈穂 九州大学 大学院システム情報科学研究院 電話＆Fax: 092-802-3723 email: itagaki[at]ed.kyushu-u.ac.jp |
支部長 ： 香野 淳（福岡大学）
kohno[at]fukuoka-u.ac.jp
庶務幹事： 福山敦彦（宮崎大学）
a-fukuyama[at]cc.miyazaki-u.ac.jp
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