開催概要

開催日時

1991年12月13日

主催

公益社団法人応用物理学会　結晶工学分科会

• 真空μエレクトロニクスとμマシニング

  伊藤 順司、金丸 正剛 (電総研)

• マイクロメカトロニクス

  藤田 博之 (東大生産研)

• マイクロマシーニングによる集積化システム

  江刺 正喜(東北大)