Monthly Archives: 1月 2004
応用物理学会東海支部基礎セミナー「バイオナノテクノロジー」（協賛）
2004年1月23日、名古屋工業大学
更新：2004/1/23
特別研究会（第9回）
「極薄シリコン酸化膜の形成・評価・信頼性」（シリコンテクノロジー研究会と共催）
2004年1月22～23日、 熱川ハイツ
更新：2004/1/22
表面物理シンポジウム2004 (SSP’04)
2004年1月21日～1月24日、雫石プリンスホテル
更新：2004/1/21
第65回 応用物理学会学術講演会分科会企画シンポジウム
2004年（平成16年）秋季 第65回応用物理学会学術講演会
薄膜・表面物理分科会企画
「カンチレバ －技術の最前線―作製から応用まで－」
日時
平成16年9月1日 13:00-18:00
場所
東北学院大学
プログラム（敬称略）
| 1 | はじめに | 吉村雅満(豊田工大ナノテクセ) |
|---|---|---|
| 2 | 実用化されたカーボンナノチューブプローブ | 山中重宣(大研化学工業) 大川 隆(大研化学工業) 秋田成司(大阪府大) 中山喜萬(大阪府大) |
| 3 | ピエゾ抵抗型自己検知プローブと機能性プローブ | 白川部喜春(エスアイアイ・ナノテクノロジー, セイコーインスツルメンツ) 高橋 寛(セイコーインスツルメンツ) |
| 4 | 小型カンチレバー | 北澤正志(オリンパスMEMS開発本部) |
| 5 | 200ＭＨｚまでの原子間顕微鏡とカンチレバーアレー“ナノピアノ” | 川勝英樹(東大生研) 川井茂樹(東大生研) 小林 大(JST) 星 泰雄(東大生研) 六尾 妙(東大生研) 中澤友則(東大生研) |
| 6 | カンチレバー共振型ピコグラムセンサー | 曾根逸人(群大院工) 保坂純男(群大院工) 和泉孝志(群大院医) 岡野晴樹(東京測器研究所) |
| 7 | 複合共振モードカンチレバーを用いたダイナミックモードAFM | 山田啓文(京大院工) |
| 8 | 生体分子の高速AFM観察 | 安藤敏夫(金沢大院自然科学) |
更新：2004/1/1
第51回 応用物理学関係連合講演会分科会企画シンポジウム
High-ｋゲート絶縁膜 － 現状と課題 －
日時
平成16年3月28日 13:00-17:30
場所
東京工科大学
プログラム（敬称略）
| 1 | イントロダクトリートーク | 鳥海 明(東大院工) |
|---|---|---|
| 2 | インテグレーションの課題 | 岩本敏幸、小倉 卓、寺井真之、渡辺啓仁、渡部平司、五十嵐信行、宮村 真、辰巳 徹、西藤哲史、森岡あゆ香、渡部宏治、斎藤幸重、矢部裕子、五十嵐多恵子、増崎幸治、望月康則、最上 徹 (NECシリコンシステム研究所) |
| 3 | 高誘電率絶縁膜／Si界面の基礎物性 | 宮崎誠一(広島大院先端研) |
| 4 | High-ｋ絶縁膜HｆO２中の欠陥の原子構造と電子構造 － 第一原理計算による検討 － |
白石賢二(筑波大物理、物材機構) 山田啓作(早大ナノテク研、物材機構) 斎藤峯雄(物材機構) 大野隆央(物材機構) 川原孝昭(SELETE) 鳥居和功(SELETE) 三橋理一郎(SELETE) 武藤彰良(SELETE) 堀内 淳(SELETE) 伊藤浩之(SELETE) 北島 洋(SELETE) 有門経敏(SELETE) |
| 5 | HfO2系材料の不均質な結晶化 － 古典的分子動力学シミュレーション － |
小坂裕子、山崎隆浩、金田千穂子 (富士通研究所) |
| 6 | High-ｋ材料と界面反応 － 熱的安定はどこまで維持できるのか － |
村岡浩一(東芝LSI基盤技術ラボ) |
| 7 | バッチ式CVD装置を用いたHfSi0NH成膜技術 | 青山知憲、鳥居和功、神山 聡、田村泰之、三橋理一郎、前田 毅、北島 洋、有門経敏 (半導体先端テクノロジーズ) |
| 8 | LL-D&A法を用いたHfAlOｘ(N)ゲートスタック技術 | 大野守史(半導体MIRAI-ASET) 堀川 剛(半導体MIRAI-産総研ASRC) 生田目俊秀(半導体MIRAI-ASET) 鳥海 明(半導体MIRAI-産総研ASRC、東大工) |
| 9 | 希土類系ゲート絶縁膜 | 岩井 洋(東工大フロンティア研) |
更新：2004/1/1
第10回 LSI配線における原子輸送および応力問題研究会
2004年7月15～16日、東京工業大学ディジタル多目的ホール
更新：2004/1/1
2004 International Workshop on DIELECTRIC THIN FILMS FOR FUTURE ULSI DEVICES: SCIENCE AND TECHNOLOGY (IWDTF-04)
2004年5月26～28日、National Museum of Emerging Science and Innovation, Tokyo
更新：2004/1/1
第33回 薄膜・表面物理基礎講座
更新：2004/1/1