常任幹事

絶縁膜の基本として、シリコン酸化膜を永らく研究していますが、まだわからないことも多く、ライフワークと言ったところです。High-k膜の研究にもつながっています。また、最近では、結晶の原子ステップやテラスを利用したナノ構造制御に興味をもっています。

リアルタイム表面計測法の開発と応用を基本方針として、固体表面反応動的過程の理解に基づいた機能性薄膜創製と表面ナノプロセスの開発を進めています。表面計測手法としてはオージェ電子分光と複合化した反射高速電子回折、高輝度放射光と希ガス共鳴線による光電子分光の開発を進めており、そのキーワードは(1)複合測定、(2)「その場」観察、(3)リアルタイムモニタリングです。そのための複合表面解析装置は、真空槽だけでなくエネルギー分析器や電子銃なども独自に試作開発しております。観察対象は半導体酸化膜および金属酸化膜形成機構の解明と制御、そして、ダイヤモンド、DLC、グラフェンなどのナノ炭素材料の気相合成機構の解明と制御です。機能性薄膜合成だけでなく、チップ・アセンブリ用の表面活性化接合に必要とされる基板表面平坦化のために、光電子制御プラズマCVDプロセスの開発も進めています。
　常任幹事会では副幹事長を担当させていただきます。山部幹事長の方針の下、薄膜・表面物理分科会の円滑な運営と発展のために務めさせていただきたく考えております。

物質を構成する最小のユニットである原子・分子を直接観察できる走査トンネル顕微鏡（STM）を用いて研究を行っています。磁性STM探針を用いることで、原子分子の凹凸像だけでなく電子伝導測定や量子スピン状態を測定できます。また、STM探針を用いて単一原子分子を操作し、人工的に磁性原子・有機分子構造体を作成できます。この原子分子構造体の物性を解明し、新たな省電力・超高密度・高機能デバイスを開発しています。

これまで表面偏析による真空容器の低ガス吸着表面改質や真空中潤滑コーティング膜の研究を行ってきました。最近は高分子系ナノワイヤーのレーザー創製や省エネに寄与する極限トライボロジー薄膜材料の開発に携わっております。

表面ナノ構造が有する独特の性質に興味をもち、これを利用することで新規・高性能材料の開発を目指しています。よろしくお願いします。

１０台の装置をつないで表面全般の研究をしていますが、特に放射光を用いた二次元光電子分光で原子構造の立体写真や電子状態の三次元測定をしています。趣味：最近は日曜大工にはまっています。色々な工具で部品を作って組み上げることは知的パズルであり、研究にも通じると思います。

様々な機能を有する無機薄膜に関して、主としてスパッタリング法やイオンプレーティング法などの物理的気相成長法による成膜を行い、これらの薄膜の構造や物性に関して研究しています。主として、透明導電膜、アモルファスの透明酸化物半導体、エレクトロクロミック薄膜や光触媒薄膜の研究にも取り組んでいます。また、日本学術振興会透明酸化物光・電子材料第166委員会にて産学官連携にも取り組んでおります。応用物理学会薄膜・表面物理分科会でも、産学官連携等の活性化にも取り組んでまいりたいと考えております。どうかよろしくお願いいたします。

スパッタ法による薄膜作製技術の開発とその磁性薄膜、透明導電膜、光触媒薄膜などの作製への応用に関する研究に取り組んできました。
現在は、特に有機薄膜上に低ダメージで成膜できるスパッタ成膜技術の開発と、その有機EL素子用のトップ電極作製技術としての応用、斜め入射堆積法による薄膜の微細構造制御に関する研究を進めています。

酸化物を中心として、新しい無機半導体物質・デバイスの開発と、分子動力学、第一原理計算などの材料シミュレーション、デバイスシミュレーションを利用した材料設計・解析を行っています。

カーボンエレクトロニクスの創出を目指し、現在は、グラフェンとダイヤモンドに関する研究を行っています。

スピン偏極電子を利用した薄膜や表面磁性の研究，走査プローブ顕微鏡技術を用いた半導体デバイスのSEM式ナノプロービングシステムの開発などに従事．最近は研究現場から一歩離れ，企画部門で研究開発の企画・運営を行っています．どうぞよろしくお願いいたします．

日立中研、理研、物材機構と転職を繰り返しましたが、一貫して原子の観察とその応用に係わる研究に携わってきました。現在は、「アトムトランジスター」や「原子スイッチの脳型動作」の研究に注力しています。

無機物から有機物まで様々な物質を対象として、結晶成長などの非平衡過程における表面・界面の形態形成のメカニズムを走査プローブ顕微鏡を用いて研究しています。