常任幹事

絶縁膜の基本として、シリコン酸化膜を永らく研究していますが、まだわからないことも多く、ライフワークと言ったところです。High-k膜の研究にもつながっています。また、最近では、結晶の原子ステップやテラスを利用したナノ構造制御に興味をもっています。

リアルタイム表面計測法の開発と応用を基本方針として、固体表面反応動的過程の理解に基づいた機能性薄膜創製と表面ナノプロセスの開発を進めています。表面計測手法としてはオージェ電子分光と複合化した反射高速電子回折、高輝度放射光と希ガス共鳴線による光電子分光の開発を進めており、そのキーワードは(1)複合測定、(2)「その場」観察、(3)リアルタイムモニタリングです。そのための複合表面解析装置は、真空槽だけでなくエネルギー分析器や電子銃なども独自に試作開発しております。観察対象は半導体酸化膜および金属酸化膜形成機構の解明と制御、そして、ダイヤモンド、DLC、グラフェンなどのナノ炭素材料の気相合成機構の解明と制御です。機能性薄膜合成だけでなく、チップ・アセンブリ用の表面活性化接合に必要とされる基板表面平坦化のために、光電子制御プラズマCVDプロセスの開発も進めています。
　常任幹事会では副幹事長を担当させていただきます。山部幹事長の方針の下、薄膜・表面物理分科会の円滑な運営と発展のために務めさせていただきたく考えております。

これまで表面偏析による真空容器の低ガス吸着表面改質や真空中潤滑コーティング膜の研究を行ってきました。最近は高分子系ナノワイヤーのレーザー創製や省エネに寄与する極限トライボロジー薄膜材料の開発に携わっております。

走査プローブ顕微鏡、超音速分子線散乱、電界イオン顕微鏡など用いて表面の性質を調べています。 最近は、炭素系材料、特に金属基板上有機分子膜の特異な物性、成長過程に興味を持っています。 また、炭素系材料からの電子放出も改めて見直したいと考えています。

１０台の装置をつないで表面全般の研究をしていますが、特に放射光を用いた二次元光電子分光で原子構造の立体写真や電子状態の三次元測定をしています。趣味：最近は日曜大工にはまっています。色々な工具で部品を作って組み上げることは知的パズルであり、研究にも通じると思います。

イオン散乱法や走査プローブ顕微鏡を用いた表面構造およびナノ構造形成メカニズムに関する研究に取り組んでいました．最近は，膜タンパク質や脂質膜といった生体分子を用いたナノバイオデバイスの構築に携わっており，神経情報伝達機構の解明や人工的なシナプス結合形成を目指しております．

スパッタ法による薄膜作製技術の開発とその磁性薄膜、透明導電膜、光触媒薄膜などの作製への応用に関する研究に取り組んできました。
現在は、特に有機薄膜上に低ダメージで成膜できるスパッタ成膜技術の開発と、その有機EL素子用のトップ電極作製技術としての応用、斜め入射堆積法による薄膜の微細構造制御に関する研究を進めています。

表面電子顕微鏡を用いて、薄膜成長過程の動的観察や磁区構造形成過程の観察を行っています。特に、実時間での磁区観察のための高輝度・高偏極度スピン偏極電子源の開発や、新しい３次元スピンマニピュレータの開発に携わっています。

カーボンエレクトロニクスの創出を目指し、現在は、グラフェンとダイヤモンドに関する研究を行っています。

表面分析関係を中心に、種々の物理解析関連の分析サービスに携わってきました。最近は、高分解能RBS/ERDAにおける深さ方向分析の高度化に関する研究に取り組んでいました。材料系では、ナノ炭素材料に興味があります。よろしくお願いいたします。

無機物から有機物まで様々な物質を対象として、結晶成長などの非平衡過程における表面・界面の形態形成のメカニズムを走査プローブ顕微鏡を用いて研究しています。

光触媒や超伝導で使われる遷移金属酸化物の薄膜をPLDやALDで作製しています。

光電子分光法を中心に表面分析に取り組み、特に最近では巨大クラスターイオン照射技術の表面分析技術への展開を行ってきました。現在は、ナノ粒子計測技術に関する研究を行っています。