常任幹事

リアルタイム表面計測法の開発と応用を基本方針として、固体表面反応動的過程の理解に基づいた機能性薄膜創製と表面ナノプロセスの開発を進めています。表面計測手法としてはオージェ電子分光と複合化した反射高速電子回折、高輝度放射光と希ガス共鳴線による光電子分光の開発を進めており、そのキーワードは(1)複合測定、(2)「その場」観察、(3)リアルタイムモニタリングです。そのための複合表面解析装置は、真空槽だけでなくエネルギー分析器や電子銃なども独自に試作開発しております。観察対象は半導体酸化膜および金属酸化膜形成機構の解明と制御、そして、ダイヤモンド、DLC、グラフェンなどのナノ炭素材料の気相合成機構の解明と制御です。機能性薄膜合成だけでなく、チップ・アセンブリ用の表面活性化接合に必要とされる基板表面平坦化のために、光電子制御プラズマCVDプロセスの開発も進めています。

常任幹事会では副幹事長を担当させていただきます。山部幹事長の方針の下、薄膜・表面物理分科会の円滑な運営と発展のために務めさせていただきたく考えております。

半導体集積回路デバイスに用いる材料、プロセス、デバイスに関する研究開発を行っています。特に最近では、MOSトランジスタの新しい高移動度チャネル技術として、（歪み）Geチャネルに注目し、GeSnなどのバッファ層成長技術やゲートスタック・コンタクト形成技術、またIV族混晶材料の電子・光物性解明とその応用に関する研究開発を行っています。

走査プローブ顕微鏡、超音速分子線散乱、電界イオン顕微鏡など用いて表面の性質を調べています。 最近は、炭素系材料、特に金属基板上有機分子膜の特異な物性、成長過程に興味を持っています。 また、炭素系材料からの電子放出も改めて見直したいと考えています

半導体結晶中の欠陥やナノマテリアルに関連した電子励起現象を研究しています。また走査トンネル顕微鏡と光照射を組み合わせた新しい測定手法の開発も行っています。

イオン散乱法や走査プローブ顕微鏡を用いた表面構造およびナノ構造形成メカニズムに関する研究に取り組んでいました．最近は，膜タンパク質や脂質膜といった生体分子を用いたナノバイオデバイスの構築に携わっており，神経情報伝達機構の解明や人工的なシナプス結合形成を目指しております．

カーボンナノチューブやグラフェンなどナノカーボン材料の合成とデバイス応用についての研究を行っています。特に最近は、固体核からの構造制御成長やナノカーボンデバイスのセンサ応用に力を入れています。 いずれも、表面・界面現象が重要な役割を担っており、本分科会の内容とも深くかかわっています。

表面電子顕微鏡を用いて、薄膜成長過程の動的観察や磁区構造形成過程の観察を行っています。特に、実時間での磁区観察のための高輝度・高偏極度スピン偏極電子源の開発や、新しい３次元スピンマニピュレータの開発に携わっています。

古典分子動力学シミュレーションでシリコンと酸化膜の界面構造や、界面付近のフォノン特性の研究を行っています。最近はhigh-k絶縁膜にも計算の対象を拡げています。現在の研究室を構えたときから、ナノワイヤ型トランジスタの開発やロボット制御の研究も始めました。「材料・デバイス・システムの階層縦断的インフォマティクス」と銘打ち、原子・分子を対象とする計算科学の経験をベースに、実践の場を材料からデバイス、システムまで階層縦断的に展開しようと奮闘しております。

表面分析関係を中心に、種々の物理解析関連の分析サービスに携わってきました。最近は、高分解能RBS/ERDAにおける深さ方向分析の高度化に関する研究に取り組んでいました。材料系では、ナノ炭素材料に興味があります。よろしくお願いいたします。

絶縁膜/半導体界面の研究に長らく携わってきました。光電子分光法や走査プローブ顕微鏡による構造分析、MOS界面の電気特性評価を中心に活動しております。最近は、不揮発メモリ材料やニューロコンピューティング用のデバイスにも興味を持っております。

光触媒や超伝導で使われる遷移金属酸化物の薄膜をPLDやALDで作製しています。

光電子分光法を中心に表面分析に取り組み、特に最近では巨大クラスターイオン照射技術の表面分析技術への展開を行ってきました。現在は、ナノ粒子計測技術に関する研究を行っています。

表面の世界に入り早30年。
この間自分の趣味のように心向くまま研究してきましたが、 本当に世の中に役に立つプロジェクトをバーンと打ち上げたいと考えています。ただ毎日雑用が、、、
今回常任幹事になり、研究について考える時間が増えることを楽しみにしています。（専門：プローブ顕微鏡、カーボン材料）
http://www.toyota-ti.ac.jp/Lab/Zairyo/surface/index.html