常任幹事

リアルタイム表面計測法の開発と応用を基本方針として、固体表面反応動的過程の理解に基づいた機能性薄膜創製と表面ナノプロセスの開発を進めています。表面計測手法としてはオージェ電子分光と複合化した反射高速電子回折、高輝度放射光と希ガス共鳴線による光電子分光の開発を進めており、そのキーワードは(1)複合測定、(2)「その場」観察、(3)リアルタイムモニタリングです。そのための複合表面解析装置は、真空槽だけでなくエネルギー分析器や電子銃なども独自に試作開発しております。観察対象は半導体酸化膜および金属酸化膜形成機構の解明と制御、そして、ダイヤモンド、DLC、グラフェンなどのナノ炭素材料の気相合成機構の解明と制御です。機能性薄膜合成だけでなく、チップ・アセンブリ用の表面活性化接合に必要とされる基板表面平坦化のために、光電子制御プラズマCVDプロセスの開発も進めています。

常任幹事会では副幹事長を担当させていただきます。山部幹事長の方針の下、薄膜・表面物理分科会の円滑な運営と発展のために務めさせていただきたく考えております。

URL: http://www.tagen.tohoku.ac.jp/labo/takakuwa/index.html

半導体集積回路デバイスに用いる材料、プロセス、デバイスに関する研究開発を行っています。特に最近では、MOSトランジスタの新しい高移動度チャネル技術として、（歪み）Geチャネルに注目し、GeSnなどのバッファ層成長技術やゲートスタック・コンタクト形成技術、またIV族混晶材料の電子・光物性解明とその応用に関する研究開発を行っています。

半導体集積回路に関わる材料・プロセス技術の研究とともに、半導体量子ドットや金属ナノドットを活用した機能デバイスの開発を進めています。特に、最近は、MIS構造界面の高感度分析に加えて、磁性金属ナノドットを活用した抵抗変化型メモリや、シリコン系量子ドット活用した極微小電子放出源や室温発光素子の開発に取り組んでいます。

半導体結晶中の欠陥やナノマテリアルに関連した電子励起現象を研究しています。また走査トンネル顕微鏡と光照射を組み合わせた新しい測定手法の開発も行っています。

電子デバイスの高機能化を目指した材料界面の制御とプロセスの研究を行っています。先端MOSデバイスのほか，エネルギー高効率利用のためのSiCパワーデバイスや，超低消費電力駆動のスピンデバイスの界面制御に関する研究に注力しています。分科会の皆様との交流から刺激を受けながら研究を深めていきたいと思います。

カーボンナノチューブやグラフェンなどナノカーボン材料の合成とデバイス応用についての研究を行っています。特に最近は、固体核からの構造制御成長やナノカーボンデバイスのセンサ応用に力を入れています。 いずれも、表面・界面現象が重要な役割を担っており、本分科会の内容とも深くかかわっています。

ダイヤモンド半導体の持つ特異な表面物性・励起子物性・電気伝導特性等に興味を持ち、これらの基礎物性の探求からデバイス応用まで幅広く研究しています。

古典分子動力学シミュレーションでシリコンと酸化膜の界面構造や、界面付近のフォノン特性の研究を行っています。最近はhigh-k絶縁膜にも計算の対象を拡げています。現在の研究室を構えたときから、ナノワイヤ型トランジスタの開発やロボット制御の研究も始めました。「材料・デバイス・システムの階層縦断的インフォマティクス」と銘打ち、原子・分子を対象とする計算科学の経験をベースに、実践の場を材料からデバイス、システムまで階層縦断的に展開しようと奮闘しております。

絶縁膜/半導体界面の研究に長らく携わってきました。光電子分光法や走査プローブ顕微鏡による構造分析、MOS界面の電気特性評価を中心に活動しております。最近は、不揮発メモリ材料やニューロコンピューティング用のデバイスにも興味を持っております。

固体表面への分子吸着や色素増感太陽電池などの研究を進めています。有機無機界面の制御に興味があり、主に光電子分光や走査トンネル顕微鏡を使用して研究しています。

表面の世界に入り早30年。
この間自分の趣味のように心向くまま研究してきましたが、 本当に世の中に役に立つプロジェクトをバーンと打ち上げたいと考えています。ただ毎日雑用が、、、
今回常任幹事になり、研究について考える時間が増えることを楽しみにしています。（専門：プローブ顕微鏡、カーボン材料）
http://www.toyota-ti.ac.jp/Lab/Zairyo/surface/index.html

ナノメートルスケールのパターンを持つ新規機能性表面の創製を目指して、軟X線領域の放射光を用いて表面改質を行っています。また、X線吸収分光 や放射光光電子分光といった軟X線分光分析を利用して、改質を行った表面の局所構造・化学状態分析を行っています。

走査トンネル顕微鏡をはじめとしたプローブ顕微鏡の研究を主に従事してきました。特に最近では、ナノピペットプローブを用いた細胞の局所イオン濃度観察や細胞への物質のインジェクション操作などの研究に力を入れております。薄膜・表面物理分科会には以前から入会していて、毎号のニュースレターを楽しく拝見しておりましたが、幹事となって運営に関わることになり恐縮しています。微力ながら貢献していきたいと考えておりますので、よろしくお願いします。

グラフェンやGaNのエピ成長・デバイス、及び、それらを繋ぐオペランドX線分光の研究を行い、学理に基づく次世代高速デバイスの開発を目指しています。これらにおいては表面・界面科学が大きな鍵を握っており、本分科会におきまして色々と勉強させて頂きたく考えております。

学生時代は超微粒子やAg/Si(111)表面構造解析などの研究を行いました．日立入社以降，スピン偏極電子を利用した薄膜および表面磁性の研究や，走査プローブ顕微鏡技術を用いた半導体デバイスのSEM式ナノプロービングシステムの開発などに従事しました．2007年の日立ハイテク異動後は，研究現場から離れ，企画部門の立場で研究開発の企画・運営を行っています．どうぞよろしくお願いいたします．