第3回プラズマ新領域研究会 「プラズマプロセスダメージとその制御」 開催日程： 2009.06.19 日程 2009.06.19 会場 東北大学流体科学研究所 2号館5階 大講義室（仙台市青葉区片平2-1-1） URL http://www.ifs.tohoku.ac.jp/jpn/lab/map/index.html
