分科内・招待講演
第31回(2024春)
-
宮島 秀史 (キオクシア株式会社)
高積層3次元フラッシュメモリにおけるプロセス開発の課題とその対策
-
小菅 佑輔(九州大学)
核融合プラズマ研究の最近の動向
第30回(2023秋)
-
寺嶋 和夫(東京大学)
DX時代のフロンティアプラズマ
第29回(2023春)
-
堀 勝 (名古屋大学)
ラジカル制御によるプラズマエレクトロニクスの進化
第28回(2022秋)
-
瀬川 澄江(東京エレクトロン)
持続可能な社会を実現するプラズマプロセスの課題と展望
-
稲田 優貴(埼玉大学)
時空間制御された大気中シングルフィラメントストリーマ放電の電子密度・電界測定
第27回(2022春)
-
本多 謙介(山口大学)
半導体ナノ粒子のプラズマ合成と水素生成光触媒への応用
第26回(2021秋)
-
宇佐美 雄生(九州工業大学)
ナノ材料ネットワークの時間ダイナミクスが拓く物理リザバーの演算機能
第25回(2021春)
-
熊谷 慎也(名城大学)
プラズマオンチップ
-
中村 守孝(MAMO)
実験が大好きなだけのかけだしが世界で最初の量産用Alエッチング装置をつくってしまった話と、その後の静電チャックの開発について
第24回(2020秋)
-
今井 伸一(日立ハイテクソリューションズ)
バーチャルメトロロジー技術を駆使した電子デバイスのスマートマニュファクチャリング
第23回(2019秋)
-
野尻 一男(ナノテクリサーチ)
ドライエッチング技術の進展と今後の展望
第22回(2019春)
-
本田 昌伸(東京エレクトロン宮城株式会社)
最先端エッチング技術の動向と将来の展望
第21回(2018秋)
-
林 久貴(東芝メモリ株式会社)
半導体デバイス製造用プラズマエッチング技術とイノベーションへの期待
第20回(2018春)
-
伊澤 勝(株式会社日立ハイテクノロジーズ)
IoT時代のプラズマ微細加工技術
第19回(2017秋)
-
近藤 道雄(産業技術総合研究所)
太陽光発電にプラズマプロセスが果たした役割と将来への期待
第18回(2017春)
-
林 俊雄(名古屋大学)
計算科学を用いたプロセスプラズマ中における気相・表面反応解析
第17回(2016秋)
-
木下 啓藏(PETRA)
ますます拡がる材料・デバイスとプラズマプロセス
第16回(2016春)
-
大森 達夫(三菱電機)
SiCパワーデバイス研究開発の現場と将来展望
第15回(2015秋)
-
水野 彰(豊橋技科大)
低温プラズマを用いるPM2.5・ガス状汚染物質対策
-
辰巳 哲也(ソニー)
プラズマプロセスの定量的な制御に向けて
第14回(2015春)
-
石井 彰三(東工大名誉)
プラズマを学び科学・技術の最先端に挑戦する
第13回(2014秋)
-
林 康明(京都工繊大)
ナノ・微粒子材料のプラズマプロセスとその場観測
-
永津 雅章(静岡大)
プラズマ科学技術の医療・バイオ応用に関する研究に携わって
第12回(2014春)
-
進藤 春雄(東海大)
新しいプラズマ源と診断法の研究
-
斧 高一(京都大)
プラズマ微細加工プロセスのモデリングと体系化: シリコンからメタル・高誘電体材料まで
第11回(2013秋)
-
藤山 寛(長崎大)
プラズマ物理の産業応用
-
小駒 益弘(上智大)
大気圧プラズマのはじめ
第10回(2013春)
-
河合 良信(九大)
プラズマプロセス用大面積プラズマ源の開発
-
小田 哲治(東大)
大気圧プラズマの環境改善技術への応用
第9回(2012秋)
-
葛谷 昌之(松山大学)
有機プラズマ化学の発展の轍
-
鯉沼 秀臣(NIMS、東大)
エネルギー材料開発におけるプラズマ科学の過去と未来
第8回(2012春)
-
河野 明廣(名古屋大学)
レーザーや光を用いたプロセスプラズマのその場計測技術
-
畠山 力三(東北大学)
ナノカーボン,ナノスコピックプラズマプロセシング
第7回(2011秋)2011春で企画された講演を2011秋にスライド
-
菅井 秀郎(中部大,元名古屋大)
マイクロ波を用いた新しいプラズマ生成・診断技術
-
神藤 正士(静岡大名誉)
光源用マイクロ波放電の生成
第6回
東日本大震災で講演中止
第5回(2010秋)
-
福政 修 (宇部高専,元山口大)
NBI用負イオン源開発を目指したプラズマの生成と制御
-
秋山 秀典(熊本大)
バイオエレクトリクス
第4回(2010春)
-
佐藤 徳芳(東北大名誉)
各種プラズマ応用に必要なプラズマ制御
-
松田 彰久(阪大)
薄膜シリコン系材料におけるプラズマプロセスの理解と制御
第3回(2009秋)
-
渡辺 征夫(九電専,元九大)
微粒子プラズマ科学発展への期待
第2回(2009春)
-
真壁 利明(慶応大)
低温プラズマとそのプロセスモデリングの萌芽期を生きて
-
吉田 豊信(東大)
プラズマ材料技術イノベーションへの期待
第1回(2008秋)
-
後藤 俊夫(中部大,元 名古屋大)
プラズマ診断
-
岡崎 幸子(上智大名誉)
大気圧プラズマ
