分科内・招待講演

第31回(2024春)

  • 宮島 秀史 (キオクシア株式会社)

    高積層3次元フラッシュメモリにおけるプロセス開発の課題とその対策

  • 小菅 佑輔(九州大学)

    核融合プラズマ研究の最近の動向

第30回(2023秋)

  • 寺嶋 和夫(東京大学)

    DX時代のフロンティアプラズマ

第29回(2023春)

  • 堀 勝 (名古屋大学)

    ラジカル制御によるプラズマエレクトロニクスの進化

第28回(2022秋)

  • 瀬川 澄江(東京エレクトロン)

    持続可能な社会を実現するプラズマプロセスの課題と展望

  • 稲田 優貴(埼玉大学)

    時空間制御された大気中シングルフィラメントストリーマ放電の電子密度・電界測定

第27回(2022春)

  • 本多 謙介(山口大学)

    半導体ナノ粒子のプラズマ合成と水素生成光触媒への応用

第26回(2021秋)

  • 宇佐美 雄生(九州工業大学)

    ナノ材料ネットワークの時間ダイナミクスが拓く物理リザバーの演算機能

第25回(2021春)

  • 熊谷 慎也(名城大学)

    プラズマオンチップ

  • 中村 守孝(MAMO)

    実験が大好きなだけのかけだしが世界で最初の量産用Alエッチング装置をつくってしまった話と、その後の静電チャックの開発について

第24回(2020秋)

  • 今井 伸一(日立ハイテクソリューションズ)

    バーチャルメトロロジー技術を駆使した電子デバイスのスマートマニュファクチャリング

第23回(2019秋)

  • 野尻 一男(ナノテクリサーチ)

    ドライエッチング技術の進展と今後の展望

第22回(2019春)

  • 本田 昌伸(東京エレクトロン宮城株式会社)

    最先端エッチング技術の動向と将来の展望

第21回(2018秋)

  • 林 久貴(東芝メモリ株式会社)

    半導体デバイス製造用プラズマエッチング技術とイノベーションへの期待

第20回(2018春)

  • 伊澤 勝(株式会社日立ハイテクノロジーズ)

    IoT時代のプラズマ微細加工技術

第19回(2017秋)

  • 近藤 道雄(産業技術総合研究所)

    太陽光発電にプラズマプロセスが果たした役割と将来への期待

第18回(2017春)

  • 林 俊雄(名古屋大学)

    計算科学を用いたプロセスプラズマ中における気相・表面反応解析

第17回(2016秋)

  • 木下 啓藏(PETRA)

    ますます拡がる材料・デバイスとプラズマプロセス

第16回(2016春)

  • 大森 達夫(三菱電機)

    SiCパワーデバイス研究開発の現場と将来展望

第15回(2015秋)

  • 水野 彰(豊橋技科大)

    低温プラズマを用いるPM2.5・ガス状汚染物質対策

  • 辰巳 哲也(ソニー)

    プラズマプロセスの定量的な制御に向けて

第14回(2015春)

  • 石井 彰三(東工大名誉)

    プラズマを学び科学・技術の最先端に挑戦する

第13回(2014秋)

  • 林 康明(京都工繊大)

    ナノ・微粒子材料のプラズマプロセスとその場観測

  • 永津 雅章(静岡大)

    プラズマ科学技術の医療・バイオ応用に関する研究に携わって

第12回(2014春)

  • 進藤 春雄(東海大)

    新しいプラズマ源と診断法の研究

  • 斧 高一(京都大)

    プラズマ微細加工プロセスのモデリングと体系化: シリコンからメタル・高誘電体材料まで

第11回(2013秋)

  • 藤山 寛(長崎大)

    プラズマ物理の産業応用

  • 小駒 益弘(上智大)

    大気圧プラズマのはじめ

第10回(2013春)

  • 河合 良信(九大)

    プラズマプロセス用大面積プラズマ源の開発

  • 小田 哲治(東大)

    大気圧プラズマの環境改善技術への応用

第9回(2012秋)

  • 葛谷 昌之(松山大学)

    有機プラズマ化学の発展の轍

  • 鯉沼 秀臣(NIMS、東大)

    エネルギー材料開発におけるプラズマ科学の過去と未来

第8回(2012春)

  • 河野 明廣(名古屋大学)

    レーザーや光を用いたプロセスプラズマのその場計測技術

  • 畠山 力三(東北大学)

    ナノカーボン,ナノスコピックプラズマプロセシング

第7回(2011秋)2011春で企画された講演を2011秋にスライド

  • 菅井 秀郎(中部大,元名古屋大)

    マイクロ波を用いた新しいプラズマ生成・診断技術

  • 神藤 正士(静岡大名誉)

    光源用マイクロ波放電の生成

第6回

東日本大震災で講演中止

第5回(2010秋)

  • 福政 修 (宇部高専,元山口大)

    NBI用負イオン源開発を目指したプラズマの生成と制御

  • 秋山 秀典(熊本大)

    バイオエレクトリクス

第4回(2010春)

  • 佐藤 徳芳(東北大名誉)

    各種プラズマ応用に必要なプラズマ制御

  • 松田 彰久(阪大)

    薄膜シリコン系材料におけるプラズマプロセスの理解と制御

第3回(2009秋)

  • 渡辺 征夫(九電専,元九大)

    微粒子プラズマ科学発展への期待

第2回(2009春)

  • 真壁 利明(慶応大)

    低温プラズマとそのプロセスモデリングの萌芽期を生きて

  • 吉田 豊信(東大)

    プラズマ材料技術イノベーションへの期待

第1回(2008秋)

  • 後藤 俊夫(中部大,元 名古屋大)

    プラズマ診断

  • 岡崎 幸子(上智大名誉)

    大気圧プラズマ

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