プラズマプロセシング研究会(SPP)
SPP(Symposium on Plasma Processing)とはプラズマプロセシング研究会の略です。
応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会の主催により、毎年1回開催されている国内学会です。
プラズマプロセシングに関わる物理的・化学的基礎科学の解明およびその制御と応用技術の開発をテーマに掲げ、プラズマ物理・プラズマ化学の研究者をはじめとして、原子・分子物理,薄膜・表面の物理・化学、電子工学など多分野の研究者が一堂に会して、プラズマを接点とする境界分野の成果発表・討論を行うと共に、新たな問題点の発掘や、新しいプロセシングの可能性を追求することが目的です。
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