「ドライプロセスの新潮流」次世代“高イオン化”スパッタリング技術交流会 開催日程： 2012.11.07 日程 2012.11.07 会場 東京都立産業技術研究センター本部 東京イノベーションハブ URL http://www.iri-tokyo.jp/kouryu/gakukyo/121107hyomen.html
