−ＭＥＭＳとＬＳＩ両技術分野の融合を目指して−

平成２０年５月１６日、応用物理学会の承認を受けて、新たに「集積化ＭＥＭＳ技術研究会」が発足いたしました。本研究会は、ＭＥＭＳとＬＳＩ両技術分野の融合と新たなテーマに向けた研究活動の場を提供いたします。国内の企業、大学、研究機関等、多くの方々の参加をお待ちしております。

−発足の趣旨−

近年ＭＥＭＳの市場は、予想以上の確実な伸びを示している。その状況で、技術の方向性として集積化がキーワードとなっている。集積化の目的として、ＭＥＭＳの集積化、ＣＭＯＳLSIとの集積化などさまざまな提案がされている。特に、世界的潮流として、ＭＥＭＳ技術とＬＳＩ技術との融合は、重要な課題でありMore than Mooreの一つの解として期待され研究開発が活発化している。

一方で、ＭＥＭＳ技術については、材料、プロセス、デバイス構造、実装技術、高歩留り技術、高信頼化技術等多くの課題が顕在化してきている。ＭＥＭＳ技術の創世期は、ＭＥＭＳ技術がＬＳＩ技術で培った半導体加工技術の導入により機械工学的な駆動部分や微細構造体を実現するということで展開されて来たが、集積化とビジネス化に至りＬＳＩ技術のあらゆる分野の導入が不可欠になってきたと考えられる。まさに、機械工学と電気工学の新たな融合が必要になってきたと考える。

このような背景において、ＬＳＩ技術者が一同に会す応用物理学会の場に集積化ＭＥＭＳ技術研究会を発足しＭＥＭＳとＬＳＩ両技術分野の融合と新たなテーマに向けた研究活動の場を提供し国内の産業および学術に貢献する。特に、ＭEＭＳ技術における「これからの真の集積化」の推進をＭＥＭＳ、ＬＳＩの観点 から進め、学問的見地から実用化にいたるまで課題を見極め今後のＭＥＭＳの基盤構築を目指す。また、各学会との連携を協賛の形で実施、研究会を通じて広く人的ネットワークの裾野を広げ、産業界、大学含めた連携の基盤つくりを目指す。

−研究会の紹介ファイル−

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