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研究会について


−MEMSとLSI両技術分野の融合を目指して−


平成20年5月16日、応用物理学会の承認を受けて、新たに「集積化MEMS技術研究会」が発足いたしました。本研究会は、MEMSとLSI両技術分野の融合と新たなテーマに向けた研究活動の場を提供いたします。国内の企業、大学、研究機関等、多くの方々の参加をお待ちしております。

 

−発足の趣旨−


近年MEMSの市場は、予想以上の確実な伸びを示している。その状況で、技術の方向性として集積化がキーワードとなっている。集積化の目的として、MEMSの集積化、CMOSLSIとの集積化などさまざまな提案がされている。特に、世界的潮流として、MEMS技術とLSI技術との融合は、重要な課題でありMore than Mooreの一つの解として期待され研究開発が活発化している。


一方で、MEMS技術については、材料、プロセス、デバイス構造、実装技術、高歩留り技術、高信頼化技術等多くの課題が顕在化してきている。MEMS技術の創世期は、MEMS技術がLSI技術で培った半導体加工技術の導入により機械工学的な駆動部分や微細構造体を実現するということで展開されて来たが、集積化とビジネス化に至りLSI技術のあらゆる分野の導入が不可欠になってきたと考えられる。まさに、機械工学と電気工学の新たな融合が必要になってきたと考える。

このような背景において、LSI技術者が一同に会す応用物理学会の場に集積化MEMS技術研究会を発足しMEMSとLSI両技術分野の融合と新たなテーマに向けた研究活動の場を提供し国内の産業および学術に貢献する。特に、MEMS技術における「これからの真の集積化」の推進をMEMS、LSIの観点 から進め、学問的見地から実用化にいたるまで課題を見極め今後のMEMSの基盤構築を目指す。また、各学会との連携を協賛の形で実施、研究会を通じて広く人的ネットワークの裾野を広げ、産業界、大学含めた連携の基盤つくりを目指す。


 


−研究会の紹介ファイル−


 集積化MEMS技術研究会紹介ファイル


事業内容



  1. シンポジウム企画、研究会などの主催

  2. 案内、お知らせのWEB上での広報活動

  3. その他本研究会の目的達成に必要な事業



規約等



 集積化MEMS技術研究会規定

 集積化MEMS技術研究会運営内規

 表彰規定


 

 集積化MEMS技術研究会紹介ファイル

 集積化MEMS技術研究会パンフレット

 研究会表彰案内

 研究会表彰履歴


 

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