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豊橋技術科学大学
固体機能デバイス施設
http://www.tut.ac.jp/intr/image/append/EDRC/kotai.htm
豊橋技術科学大学
インテリジェントセンシングシステムリサーチセンター
http://www.tut.ac.jp/rese/issrc/
豊橋技術科学大学 
ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー(VBL)
http://www.vbl.tut.ac.jp/
東京大学生産技術研究所
マイクロメカトロニクス国際研究センター
http://www.cirmm.iis.u-tokyo.ac.jp/nihongo/cirmm_japanese.html
東京工業大学精密工学研究所
メカノマイクロプロセス室
http://www.mmp.pi.titech.ac.jp/index.htm
九州工業大学
マイクロ化総合技術センター
http://www.cms.kyutech.ac.jp/
 

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東京大学     年吉研究室 http://toshi.iis.u-tokyo.ac.jp/toshilab/
東京工業大学  益研究室 http://masu-www.pi.titech.ac.jp/
名古屋大学    秦・式田研究室 http://mnp.mech.nagoya-u.ac.jp/jp/
東京工業大学  里・曽根研究室 http://www.ames.pi.titech.ac.jp/
東北大学     田中(秀)研究室 http://www.mems.mech.tohoku.ac.jp/index.html 
兵庫県立大学  前中研究室 http://www.eng.u-hyogo.ac.jp/eecs/eecs10/index-jp.html


 
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