| 開催日 |
名 称 |
| 2024年11月8日 |
第15回集積化MEMS技術研究会
＠富山大学
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| 2024年7月30日 |
第15回集積化MEMS技術研究会ワークショップ
＠名古屋大学
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| 2024年3月22日 |
第71回 応用物理学会春季学術講演会分科企画シンポジウム
IoT市場拡大に資する半導体産業の進展とコア技術とは？
＠東京都市大学世田谷キャンパス
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| 2023年11月6日-11月9日 |
第15回集積化MEMSシンポジウム
＠熊本城ホール
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| 2023年8月2日 |
第14回集積化MEMS技術研究会ワークショップ
＠株式会社ミライズテクノロジーズ
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| 2022年11月14日-11月16日 |
第14回集積化MEMSシンポジウム
＠アスティ徳島（徳島県立産業観光交流センター）
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| 2022年8月3日 |
第13回集積化MEMS技術研究会ワークショップ
＠太陽誘電モバイルテクノロジー株式会社
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| 2022年2月10日 |
第12回集積化MEMS技術研究会ワークショップ
＠オンライン
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| 2021年11月9日-11月11日 |
第13回 集積化MEMSシンポジウム
＠オンライン
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| 2022年12月1日 |
第11回集積化MEMS技術研究会ワークショップ
＠太陽誘電モバイルテクノロジー株式会社
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| 2020年10月26日-10月28日 |
第12回 集積化MEMSシンポジウム
＠オンライン
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| 2020年3月12日 |
第67回 応用物理学会春季学術講演会 分科企画シンポジウム
＠上智大学 四谷キャンパス
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| 2019年11月19日-11月21日 |
第11回集積化MEMSシンポジウム
＠アクトシティ浜松
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| 2019年7月26日 |
第10回集積化MEMS技術研究ワークショップ
＠産業技術総合研究所（つくば東）・集積マイクロシステム研究センター
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| 2019年5月10日 |
第13回集積化MEMS技術研究会「バイオMEMSとその関連技術」
＠名古屋大学 ベンチャービジネスラボラトリ ３階 ベンチャーホール
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| 2019年3月10日 |
第66回応用物理学会春季学術講演会分科企画シンポジウム
＠東京工業大学大岡山キャンパス
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| 2018年10月30日-11月1日 |
第10回集積化MEMSシンポジウム
＠札幌市民交流プラザ
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| 2018年5月31日-6月1日 |
「第2回 台湾-日本国際交流シンポジウム」
（第12回集積化MEMS技術研究会 第9回集積化MEMS技術研究ワークショップ）
＠台湾 新竹市
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| 2018年3月17日-20日 |
２０１８年第６５回応用物理学会春季学術講演会
＠早稲田大学・西早稲田キャンパス
集積化MEMSの発展と展望（集積化MEMS技術研究会発足10周年記念シンポジウム）
平成29年度 集積化MEMS技術研究会 表彰式
第25回集積化MEMS技術研究会運営委員会 懇親会
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| 2017年10月31日-11月2日 |
「第９回集積化MEMSシンポジウム」
（同時開催）第３４回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
＠広島国際会議場
集積化MEMS技術研究会懇親会（2017年10月31日）
第２４回集積化MEMS技術研究会運営委員会（2017年11月1日）
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| 2017年9月7日 |
第２３回集積化MEMS技術研究会運営委員会
＠応用物理学会秋季講演会 福岡国際センター
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| 2017年7月26日 |
第８回集積化MEMS技術研究ワークショップ
＠香川大学 林町キャンパス
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| 2017年5月26日 |
第１１回集積化MEMS技術研究会
「光−テラヘルツ 通信とセンシング」
＠九州大学 稲盛財団記念館 1階 稲盛ホールC
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| 2016年3月16日 |
第６４回応用物理学会春季学術講演会
【集積化MEMS技術研究会主催】
企画シンポジウム「自動走行に資する車載MEMSデバイスと関連技術」
＠パシフィコ横浜
第８回集積化MEMSシンポジウム表彰式
第７回集積化MEMS技術研究ワークショップ表彰式
集積化MEMS技術研究会運営委員会懇親会 |
| 2016年10月24-26日 |
「第８回集積化MEMSシンポジウム」
（同時開催）第３３回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
＠平戸文化センター
集積化MEMS技術研究会懇親会
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| 2016年7月26日 |
第７回集積化MEMS技術研究ワークショップ
＠京都大学 吉田キャンパス
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| 2016年5月20日 |
第１０回集積化MEMS技術研究会
「開催十回目を迎えて：これからのMEMS応用の可能性、新展開、横展開」
＠東京大学駒場リサーチキャンパス
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| 2016年3月19日 |
第６３回応用物理学会春季学術講演会
【集積化MEMS技術研究会主催】
企画シンポジウム「ＩｏＴアプリケーションと、それを支えるキーテクノロジ」
＠東工大 大岡山キャンパス
第７回集積化MEMSシンポジウム表彰式
第６回集積化MEMS技術研究ワークショップ表彰式
集積化MEMS技術研究会運営委員会懇親会 |
| 2015年10月28-30日 |
「第７回集積化MEMSシンポジウム」
（同時開催）第３２回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
＠朱鷺メッセ
集積化MEMS技術研究会運営委員会懇親会
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| 2015年8月21日 |
「東京大学VDEC 第10回D2Tシンポジウム」
＠東京大学 武田先端知ビル 5階 武田ホール |
| 2015年7月31日 |
第６回集積化MEMS技術研究ワークショップ
＠ＮＨＫ放送技術研究所
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| 2015年7月27-31日 |
豊橋技術科学大学 (社会人向け)
「第35回集積回路技術講習会」
＠国立大学法人 豊橋技術科学大学 VBL |
| 2015年5月15日 |
第９回集積化MEMS技術研究会「エナジーハーベスター技術」
＠日本大学理工学部 船橋キャンパス
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| 2015年3月11-14日 |
第６２回応用物理学会春季学術講演会
＠東海大学 湘南キャンパス
第６回集積化MEMSシンポジウム表彰式
第５回集積化MEMS技術研究ワークショップ表彰式
集積化MEMS技術研究会運営委員会懇親会 |
| 2014年10月20-22日 |
第６回集積化MEMSシンポジウム
（第３１回センサ・マイクロマシンと応用システムと同時開催）
＠島根県松江市くにびきメッセ
集積化MEMSシンポジウム（講演会）
第１７回集積化MEMS技術研究会運営委員会
集積化MEMS技術研究会運営委員懇親会
第６回集積化MEMSシンポジウム受賞者
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| 2014年9月17-20日 |
第７５回応用物理学会秋季学術講演会
＠北海道大学 札幌キャンパス
集積化MEMS技術研究会懇親会 |
| 2014年7月11日 |
第５回集積化MEMS技術研究ワークショップ
＠豊橋技術科学大学
第５回集積化MEMS技術研究ワークショップ受賞者
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| 2014年5月29-30日 |
第８回集積化MEMS技術研究会
「次世代半導体技術」
＠熊本大学工学部百周年記念館 |
| 2014年3月17-20日 |
第６１回応用物理学会春季学術講演会
●１３．３「Ｓｉプロセス・配線・ＭＥＭＳ・集積化技術」
＠神奈川県相模原市 青山学院大学相模原キャンパス
研究会第１６回運営委員会懇親会 |
| 2013年11月5-7日 |
第３０回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム＆「第５回集積化MEMSシンポジウム」
＠仙台国際センター（宮城県仙台市）
研究会第１５回運営委員会懇親会
第５回集積化MEMSシンポジウム受賞者
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| 2013年9月16-20日 |
第７４回応用物理学会秋季学術講演会
●半導体Ａ：１３．８「MEMS/NEMSの基礎と応用」
＠京都府京田辺 同志社大学京田辺キャンパス |
| 2013年7月26日 |
第４回集積化MEMS技術研究ワークショップ
＠大阪府立大学２１世紀科学研究機構「植物工場研究センター」 |
| 2013年5月24日 |
第７回集積化MEMS技術研究会
「エネルギーハーベスティング」
＠オムロン株式会社 京阪奈イノベーションセンター |
| 2013年3月29日 |
第１４回集積化MEMS研究会運営委員会
＠神奈川県厚木市 神奈川工科大学 |
| 2013年3月27-30日 |
第６０回応用物理学会春季学術講演会
●合同セッションL「MEMS、NEMSの基礎と応用：異種機能集積化」
＠神奈川県厚木市 神奈川工科大学 |
| 2013年3月27日 |
第６０回応用物理学会春季学術講演会
−半導体Aと合同セッションLによる分科企画シンポジウム
Present and future of CMOS/MEMS integrateion（英語セッション）
＠神奈川県厚木市 神奈川工科大学 |
| 2012年12月4日 |
第９回 豊橋技術科学大学 産官学交流フォーラム２０１２
「機能集積化知能デバイスの開発研究」
−異分野融合が進むスマートセンサ/MEMSと新規応用分野−
＠豊橋技術科学大学 ベンチャービジネスラボラトリー |
| 2012年11月22-23日 |
豊橋技術科学大学 (社会人向け)
平成２４年度 第６回「集積化RF MEMS技術講習会」
＠豊橋技術科学大学 ベンチャービジネスラボラトリー |
| 2012年11月20日 |
東京工業大学 平成２４・N度 第１回ICE Cube Center研究会
「群知能シリコンの創生とソリューション研究推進」
-センサとネットワーク、情報活用の現状と課題-
＠東京工業大学 すずかけ台キャンパス 大学会館（すずかけホール） ２階 集会室１ |
| 2012年10月23-24日 |
電気学会センサ・マイクロマシン部門大会
第２９回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
第４回「集積化MEMSシンポジウム」
＠北九州市小倉 北九州国際会議場および西日本総合展示場 |
| 2012年10月22日 |
電気学会・機械学会・応用物理学会共催・日本学術会議後援
第二回マイクロ・ナノ産業化シンポジウム
---- 巨大震災：センサニーズと課題 ----
＠北九州市小倉 北九州国際会議場および西日本総合展示場 |
| 2012年9月12日 |
秋の応物インフォーマルミーティング「未来デバイス懇談会」
＠愛媛大学 |
| 2012年7月20日 |
第３回集積化MEMS技術研究ワークショップ
＠岩手県雫石・盛岡セイコー工業株式会社 |
| 2012年5月18日 |
第６回集積化MEMS技術研究会
<講演資料ダウンロード>
・上田政則 (太陽誘電) 「AlN薄膜を使用したFBARデバイスの開発」
・藤井隆満 (富士フイルム) 「RFスパッタリング法による高圧電定数Nb-PZT薄膜の作製」
・清水勝 (兵庫県立大) 「MOCVD法によるナノ強誘電体Pb(Zr,Ti)O3の作製」
・神野伊策 (神戸大) 「金属基板上に形成したPZT圧電薄膜デバイス」
・小林健 (産総研) 「ゾルゲル法によるPZT薄膜の形成とセンサへの応用」
・赤井大輔 (豊橋技科大) 「シリコン基板上のエピタキシャルPZT薄膜と超音波トランスデューサへの応用」
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| 2011年9月26〜27日 |
マイクロ・ナノ産業化シンポジウム |
| 2011年5月20日 |
第５回集積化MEMS技術研究会 |
| 2010年10月14〜15日 |
第２回集積化MEMSシンポジウム |
| 2010年9月15日 |
２０１０年（平成２２年）秋季講演会応物 第２回インフォーマルミーティング |
| 2010年9月14日 |
２０１０年（平成２２年）秋季講演会応物シンポジウム
異種機能集積化：The Road to The Destructive Innovation |
| 2010年7月26〜31日 |
社会人向け「第３０回集積回路技術講習会」(協賛) |
| 2010年7月9日 |
第２回集積化ＭＥＭＳ技術ワークショップ |
| 2010年6月17日 |
電気学会 センサ・マイクロマシン部門（E部門）平成２２年度総合研究会 |
| 2010年6月4日 |
センシング応用セミナー |
| 2010年6月1日 |
豊橋技術科学大学 平成２１年度 VBL研究成果報告会 |
| 2010年3月19日 |
第６０回東京工業大学精密工学研究所シンポジウム（協賛） |
| 2010年3月18日 |
応用物理学会スクール ２０１０年春季 「集積化ＭＥＭＳ技術−基礎から応用」 |
| 2010年1月21日 |
第４回集積化MEMS技術研究会 |
| 2009年12月3日 |
セミコン・ジャパン２００９応用物理学会企画基調講演
-集積化MEMS技術の現状と今後の展開- |
| 2009年10月16日 |
第２６回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 集積化MEMSシンポジウム |
| 2009年9月9日 |
２００９年秋季 応用物理学会 学術講演会 集積化ＭＥＭＳ技術研究会インフォーマル会合 |
| 2009年7月14日 |
第１回 集積化MEMS技術研究ワークショップ |
| 2009年5月22日 |
第３回 集積化MEMS技術研究会
第４回 集積化MEMS技術研究会運営委員会 |
| 2009年3月31日 |
２００９年(平成２１年)春季 第５６回応用物理学会関係連合講演会シンポジウム
第３回 集積化MEMS技術研究会運営委員会 |
| 2008年11月21日 |
第２回集積化MEMS技術研究会
第２回 集積化MEMS技術研究会運営委員会 |
| 2008年7月10日 |
第１回 集積化MEMS技術研究会兼発足会
第１回 集積化MEMS技術研究会運営委員会 |
| 2008年6月1日 |
集積化MEMS技術研究会 発足 正式活動開始 |
| 2008年5月16日 |
応用物理学会理事会にて集積化MEMS技術研究会 承認 |
| 2008年4月15日 |
応用物理学会常任理事会設立趣旨説明了承 |
