ホームへ移動



活動報告

                           
開催日  名 称 
2017年7月26日 第8回集積化MEMS技術研究ワークショップ
@香川大学 林町キャンパス           
2017年5月26日 第11回集積化MEMS技術研究会
「光−テラヘルツ 通信とセンシング」

@九州大学 稲盛財団記念館 1階 稲盛ホールC
2016年3月16日 第64回応用物理学会春季学術講演会
【集積化MEMS技術研究会主催】
企画シンポジウム「自動走行に資する車載MEMSデバイスと関連技術」

@パシフィコ横浜

第8回集積化MEMSシンポジウム表彰式
第7回集積化MEMS技術研究ワークショップ表彰式
集積化MEMS技術研究会運営委員会懇親会
2016年10月24-26日 「第8回集積化MEMSシンポジウム」
(同時開催)第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
@平戸文化センター

集積化MEMS技術研究会懇親会
2016年7月26日 第7回集積化MEMS技術研究ワークショップ
@京都大学 吉田キャンパス           
2016年5月20日 第10回集積化MEMS技術研究会
「開催十回目を迎えて:これからのMEMS応用の可能性、新展開、横展開」

@東京大学駒場リサーチキャンパス
2016年3月19日 第63回応用物理学会春季学術講演会
【集積化MEMS技術研究会主催】
企画シンポジウム「IoTアプリケーションと、それを支えるキーテクノロジ」

@東工大 大岡山キャンパス

第7回集積化MEMSシンポジウム表彰式
第6回集積化MEMS技術研究ワークショップ表彰式
集積化MEMS技術研究会運営委員会懇親会
2015年10月28-30日 「第7回集積化MEMSシンポジウム」
(同時開催)第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
@朱鷺メッセ

集積化MEMS技術研究会運営委員会懇親会
2015年8月21日 「東京大学VDEC 第10回D2Tシンポジウム」
@東京大学 武田先端知ビル 5階 武田ホール
2015年7月31日 第6回集積化MEMS技術研究ワークショップ
@NHK放送技術研究所
2015年7月27-31日 豊橋技術科学大学 (社会人向け)
「第35回集積回路技術講習会」
@国立大学法人 豊橋技術科学大学 VBL
2015年5月15日 第9回集積化MEMS技術研究会「エナジーハーベスター技術」
@日本大学理工学部 船橋キャンパス
2015年3月11-14日 第62回応用物理学会春季学術講演会
@東海大学 湘南キャンパス

第6回集積化MEMSシンポジウム表彰式
第5回集積化MEMS技術研究ワークショップ表彰式
集積化MEMS技術研究会運営委員会懇親会
2014年10月20-22日 第6回集積化MEMSシンポジウム
(第31回センサ・マイクロマシンと応用システムと同時開催)
@島根県松江市くにびきメッセ

集積化MEMSシンポジウム(講演会)
第17回集積化MEMS技術研究会運営委員会
集積化MEMS技術研究会運営委員懇親会
第6回集積化MEMSシンポジウム受賞者
2014年9月17-20日 第75回応用物理学会秋季学術講演会
@北海道大学 札幌キャンパス

集積化MEMS技術研究会懇親会
2014年7月11日 第5回集積化MEMS技術研究ワークショップ
@豊橋技術科学大学

第5回集積化MEMS技術研究ワークショップ受賞者
2014年5月29-30日 第8回集積化MEMS技術研究会
「次世代半導体技術」
@熊本大学工学部百周年記念館
2014年3月17-20日 第61回応用物理学会春季学術講演会
●13.3「Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術」
@神奈川県相模原市 青山学院大学相模原キャンパス

研究会第16回運営委員会懇親会
2013年11月5-7日 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム&「第5回集積化MEMSシンポジウム」
@仙台国際センター(宮城県仙台市)

研究会第15回運営委員会懇親会
第5回集積化MEMSシンポジウム受賞者
2013年9月16-20日 第74回応用物理学会秋季学術講演会
●半導体A:13.8「MEMS/NEMSの基礎と応用」
@京都府京田辺 同志社大学京田辺キャンパス
2013年7月26日 第4回集積化MEMS技術研究ワークショップ
@大阪府立大学21世紀科学研究機構「植物工場研究センター」
2013年5月24日 第7回集積化MEMS技術研究会
「エネルギーハーベスティング」
@オムロン株式会社 京阪奈イノベーションセンター
2013年3月29日 第14回集積化MEMS研究会運営委員会
@神奈川県厚木市 神奈川工科大学
2013年3月27-30日 第60回応用物理学会春季学術講演会
●合同セッションL「MEMS、NEMSの基礎と応用:異種機能集積化」
@神奈川県厚木市 神奈川工科大学
2013年3月27日 第60回応用物理学会春季学術講演会
−半導体Aと合同セッションLによる分科企画シンポジウム
Present and future of CMOS/MEMS integrateion(英語セッション)
@神奈川県厚木市 神奈川工科大学
2012年12月4日 第9回 豊橋技術科学大学 産官学交流フォーラム2012
「機能集積化知能デバイスの開発研究」
−異分野融合が進むスマートセンサ/MEMSと新規応用分野−
@豊橋技術科学大学 ベンチャービジネスラボラトリー
2012年11月22-23日 豊橋技術科学大学 (社会人向け)
平成24年度 第6回「集積化RF MEMS技術講習会」
@豊橋技術科学大学 ベンチャービジネスラボラトリー
2012年11月20日 東京工業大学 平成24・N度 第1回ICE Cube Center研究会
「群知能シリコンの創生とソリューション研究推進」
-センサとネットワーク、情報活用の現状と課題-
@東京工業大学 すずかけ台キャンパス 大学会館(すずかけホール) 2階 集会室1
2012年10月23-24日 電気学会センサ・マイクロマシン部門大会
第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

第4回「集積化MEMSシンポジウム」

@北九州市小倉 北九州国際会議場および西日本総合展示場
2012年10月22日 電気学会・機械学会・応用物理学会共催・日本学術会議後援
第二回マイクロ・ナノ産業化シンポジウム
---- 巨大震災:センサニーズと課題 ----

@北九州市小倉 北九州国際会議場および西日本総合展示場
2012年9月12日 秋の応物インフォーマルミーティング「未来デバイス懇談会」
@愛媛大学
2012年7月20日 第3回集積化MEMS技術研究ワークショップ
@岩手県雫石・盛岡セイコー工業株式会社
2012年5月18日 第6回集積化MEMS技術研究会

<講演資料ダウンロード>
上田政則 (太陽誘電) 「AlN薄膜を使用したFBARデバイスの開発」
藤井隆満 (富士フイルム) 「RFスパッタリング法による高圧電定数Nb-PZT薄膜の作製」
清水勝 (兵庫県立大) 「MOCVD法によるナノ強誘電体Pb(Zr,Ti)O3の作製」
神野伊策 (神戸大) 「金属基板上に形成したPZT圧電薄膜デバイス」
小林健 (産総研) 「ゾルゲル法によるPZT薄膜の形成とセンサへの応用」
赤井大輔 (豊橋技科大) 「シリコン基板上のエピタキシャルPZT薄膜と超音波トランスデューサへの応用」
2011年9月26〜27日 マイクロ・ナノ産業化シンポジウム
2011年5月20日 第5回集積化MEMS技術研究会
 2010年10月14〜15日 第2回集積化MEMSシンポジウム 
2010年9月15日 2010年(平成22年)秋季講演会応物 第2回インフォーマルミーティング
2010年9月14日 2010年(平成22年)秋季講演会応物シンポジウム
異種機能集積化:The Road to The Destructive Innovation
2010年7月26〜31日 社会人向け「第30回集積回路技術講習会」(協賛) 
2010年7月9日 第2回集積化MEMS技術ワークショップ
2010年6月17日 電気学会 センサ・マイクロマシン部門(E部門)平成22年度総合研究会
2010年6月4日 センシング応用セミナー
2010年6月1日  豊橋技術科学大学 平成21年度 VBL研究成果報告会
2010年3月19日 第60回東京工業大学精密工学研究所シンポジウム(協賛) 
2010年3月18日 応用物理学会スクール 2010年春季 「集積化MEMS技術−基礎から応用」 
2010年1月21日  第4回集積化MEMS技術研究会
2009年12月3日  セミコン・ジャパン2009応用物理学会企画基調講演
-集積化MEMS技術の現状と今後の展開-
2009年10月16日 第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 集積化MEMSシンポジウム
2009年9月9日 2009年秋季 応用物理学会 学術講演会 集積化MEMS技術研究会インフォーマル会合
2009年7月14日  第1回 集積化MEMS技術研究ワークショップ 
2009年5月22日 第3回 集積化MEMS技術研究会
第4回 集積化MEMS技術研究会運営委員会
2009年3月31日 2009年(平成21年)春季 第56回応用物理学会関係連合講演会シンポジウム 
第3回 集積化MEMS技術研究会運営委員会
2008年11月21日 第2回集積化MEMS技術研究会
第2回 集積化MEMS技術研究会運営委員会
2008年7月10日 第1回 集積化MEMS技術研究会兼発足会
第1回 集積化MEMS技術研究会運営委員会
2008年6月1日 集積化MEMS技術研究会 発足 正式活動開始
2008年5月16日 応用物理学会理事会にて集積化MEMS技術研究会 承認
2008年4月15日 応用物理学会常任理事会設立趣旨説明了承


 Copyright (c) 応用物理学会 集積化MEMS技術委員会 All Right Reserved