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第7回 集積化MEMS技術研究ワークショップ


 公益社団法人応用物理学会集積化MEMS技術研究会は,集積化MEMS技術に関するワークショップを定期的に開催しています. 集積化MEMS技術研究ワークショップは研究会会員様からの研究成果の発表とともに企業の賛助会員様からの技術紹介も行い, 議論や情報交換を行うことを主な目的としています.また,ワークショップは企業や研究機関で開催され,今後の会員皆様の研究開発に役立つ情報が得られるように開催場所では見学会も企画しています.

 今回の第7回集積化MEMS技術研究ワークショップは,京都大学 吉田キャンパス 国際科学イノベーション棟にて開催しました. 本ワークショップでは2件の招待講演がありました.笠井隆様(オムロン株式会社マイクロデバイス事業推進本部)からは 「オムロンにおけるモバイル市場向けMEMSデバイス技術」のご講演をいただき, 土屋智由先生(京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻)からは「京大ナノハブを活用したナノ・マイクロシステム研究」のご講演を頂きました. 一般会員様や企業の賛助会員様からの発表および技術紹介は, すべてショート講演(3−5分予定)+ポスター形式(展示も含む)としました. 最後に,多くの方の投稿と参加,誠にありがとうございました.

● 開催日時:

       ワークショップ:平成28年7月26日(火)13:00〜16:10
       見学会:     平成28年7月26日(火)16:10〜17:10
       懇親会:     平成28年7月26日(火)18:30〜20:30

● ワークショップ開催会場:京都大学 吉田キャンパス 国際科学イノベーション棟5F
● 見学会開催会場:京都大学ナノテクノロジーハブ拠点

       研究会・見学会写真


● 懇親会:御肴凸鉾

       懇親会写真


講演会参加者 25名
見学会参加者 20名
懇親会参加者 19名



プログラム


          
セッション 時間 講演タイトル
開会のご挨拶
13:00-13:05
○平本 俊郎 教授 
(東京大学/集積化MEMS技術研究ワークショップ統括)
招待講演1
(50分)
13:05-13:55 「オムロンにおけるモバイル市場向けMEMSデバイス技術」
○笠井 隆 様 
(オムロン(株)マイクロデバイス事業推進本部)
休憩
13:55-14:05 -
発表および
技術紹介
14:05-14:30 ポスターショートプレゼンテーション
(25分,1件あたり5分)

【P1】 「基準面構造を持つ生体硬さセンサにおける荷重依存性低減の理論的検証」
前田祐作,寺尾京平,下川房男,高尾英邦 (香川大学)

【P2】 「一本鎖DNA 修飾により単分散させた単層カーボンナノチューブの金ナノ電極対への架橋アセンブル」
塩見勇祐,平井義和,土屋智由,田畑修 (京都大学)

【P3】 「大面積垂直電極を有する高感度静電気センサの製作と評価」
飯間敦矢,岡勇作,寺尾京平,下川房男,高尾英邦 (香川大学)

【P4】 「高分解能2軸触覚センサを用いた布表面手触りの識別」
綿谷一輝,香西亮吾,寺尾京平,下川房男,高尾英邦 (香川大学)

【P5】 「(技術紹介)パッケージへのMEMS・センサー実装・気密封止技術」
島田照男,藤森俊介,千野満 (株式会社イングスシ・iノ)

14:30-15:10 ポスターセッション
(40分)
休憩
15:10-15:20 -
招待講演2
(30分)
15:20-15:50 「京大ナノハブを活用したナノ・マイクロシステム研究」
○土屋 智由 准教授 
(京都大学大学院 工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻)
講演
(20分)
15:20-15:50 「京都大学ナノテクノロジーハブ拠点の紹介」
○松嶋 朝明 様 
(京都大学ナノテクノロジーハブ拠点 上席高度専門技術職)

見学会


    
16:10-17:10 京都大学ナノテクノロジーハブ拠点



企画担当


【総括】 平本 俊郎 (兵庫県立大学) 
【主査】 高尾 英邦 (香川大学) 
【副査】 後藤 正英 (NHK放送技術研究所) 
【副査】 望月 俊輔 (NTTデータ数理システム) 



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