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第26回センサシンポ 集積化MEMSシンポジウム


開催日時:2009年10月16日(金)9:00〜17:00
場所:タワーホール船堀

●第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムのHPはこちらをご覧ください


講演プログラム


セッション 講演番号 講演タイトル
招待講演 PL-4 More than Moore とMEMS ○河村 誠一郎(科学技術振興機構研究開発戦略センター)
回路および統合設計技術    A-1 Impedance-Sensing Scheme for Fraud Detection on Capacitive Fingerprint Sensor LSIs ○T. Shimamura(NTT Microsystem Integration Laboratories)
A-2 電気回路シミュレータQucs を用いた集積化MEMS のための連成解析手法 ○丸山 智史(東京大学)
A-3 MEMSpice‐回路シミュレーション技術を用いた電気機械連成解析ツール ○望月 俊輔(株式会社 数理システム)
A-4 ISFET を集積化したモノリシックCMOS pH センサの設計 ○小西 敏文(NTT アドバンステクノロジ 株式会社)
プロセス&デバイス   B-5 ネットワーク型触覚センサのウェハレベル集積化・パッケージング技術 ○巻幡 光俊(東北大学)
B-6 Multi-User CMOS-MEMS Processes for SOI Bulkmicromachined Actuators ○K. Takahashi(The University of Tokyo,Toyohashi University of Technology)
B-7 Pulse Width Modulation Transmitter for Wireless Smart Temperature Sensor ○Wang-Hoon Lee(ToyohashiUniversity of Technology, JST-CREST)
プロセス&デバイス&材料技術     C-8 Fabrication of Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers Array, Using an Epitaxial PZT Thin Films on γ-Al2O3/Si ○Ikuo Kanja(Toyohashi University of Technology)
C-9 Preparation of Thin Lithium Niobate Layer on Silicon Wafer for Wafer-Level Integration of Acoustic Devices and LSI ○K. D. Park(Tohoku University)
C-10 任意の細胞への薬剤刺激を与えることができるデバイスの構築 ○小此木 孝仁(JST CREST)
C-11 薄膜ライブラリを用いた高耐熱性を有するアモルファス合金の探索 ○安藤 正将(東京工業大学)



開催要領


第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

  開催日時 平成21年10月15日(木)〜16日(金)
開催場所 東京 タワーホール船堀
  ●投稿締め切り 平成21年7月3日(金) ← 延長しました(併設の集積化MEMSシンポジウムのみ)
投稿内容が改定されました(日本語(1000字程度),英語(500字程度)のどちらでも投稿可)

●事前参加申込締め切り 平成21年9月30日(水)
  開催案内はこちら

●参加申し込み,プログラムはシンポジウムのHPをご覧ください


奨励賞


第26回センサシンポ 集積化MEMSシンポジウムの奨励賞は,参加された方のアンケートに基づき、以下の方に決定いたしました。アンケートにご協力いただきありがとうございました。
 
 丸山 智史 様1,三田 信 様2
藤田 博之 様3 ,年吉 洋 様3
電気回路シミュレータQucs を用いた集積化MEMS のための連成解析手法

 東京大学工学系研究科1,宇宙航空研究開発機構 宇宙科学研究本部2、東京大学 生産技術研究所3

 望月 俊輔 様,水田 千益 様
MEMSpice−回路シミュレーション技術を用いた電気‐機械連成解析ツール

 (株)数理システム

 小此木 孝仁 様1,興津 輝 様2,寺尾 京平 様3
鈴木 孝明 様3,大岡 正孝 様1,小寺 秀俊 様4
任意の細胞へ薬剤刺激を与えることができるデバイスの構築

 1JST CRES,2京都大学付属病院,3香川大学 工学部,4京都大学大学院 工学研究科

優秀論文賞


第26回センサシンポ 集積化MEMSシンポジウムの優秀論文賞は,参加された方のアンケートに基づき、以下の方に決定いたしました。アンケートにご協力いただきありがとうございました。
 
 島村 俊重 様1,森村 浩季 様1,下山 展弘 様1
阪田 知巳 様1,重松 智志 様1,町田 克之 様2
中西 衛 様1
容量型指紋センサ LSI における不正検出のためのインピーダンス検出手法

 1NTT(株),2NTT-AT(株)

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