集積化MEMSは，次世代のデバイス・システムの成長原動力となるMore than Moore技術の1つとして，最近，注目を集めています。
本研究会は，MEMSとLSIの両技術分野の融合と新たなテーマ開拓に向けて，材料，プロセス，デバイス構造，実装技術，高歩留まり技術，高信頼化技術などを視野に入れ，
基礎研究から実用化に至るまでの様々な段階に関する活発な議論の場を提供します。
今回は主として「エナジーハーベスター技術」に焦点を当てて，最近の動向について一線でご活躍の講師をお招きして研究会を開催いたしました。
また，本研究会を日本大学理工学部船橋キャンパスにて開催するに当たり、日本大学理工学部マイクロ機能デバイス研究センターの見学を研究会に引き続き企画いたしました。
最後に，多くの方の投稿と参加，誠に有難うございました。
● 開催日時：
研究会：平成27年5月15日（金曜日）13:00〜16:10
見学会：平成27年5月15日（金曜日）16:20〜17:00
懇親会：平成27年5月15日（金曜日）18:00〜20:00
● 研究会開催会場：日本大学 理工学部 船橋キャンパス 14号館会議室
● 見学会開催会場：日本大学理工学部 マイクロ機能デバイス研究センター
研究会・見学会写真
● 懇親会：むさしや 千葉県船橋市
懇親会写真
| 研究会参加者 |
２４名 |
| 見学会参加者 |
２３名 |
| 懇親会参加者 |
１９名 |
