| 応用物理学会 集積化MEMS技術研究会主催
「第11回集積化MEMSシンポジウム」開催案内
| | 公益社団法人応用物理学会
集積化MEMS技術研究会
委員長 平本 俊郎（東京大学） | |
応用物理学会集積化MEMS技術研究会では、各学会との連携を図り、広く人的ネットワークの裾野を広げ、産業界、大学含めた連携の基盤つくりを目指すための活動の一つとして、これまで電気学会センサ・マイクロマシン部門が主催する「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム開催に合わせて「集積化MEMSシンポジウム」を開催してきました。このセンサ・マイクロマシンシンポジウムはセンサ・マイクロマシン技術のさらなる発展を目標に開催される日本最大のシンポジウムです。このシンポジウム開催に合わせて「集積化MEMSシンポジウム」を開催することで、応用物理の新たな展開が期待されます。今年も第11回集積化シンポジウムを開催いたしました。今回はFuture Technologies from HAMAMATSUとしてアクトシティ浜松にて開催しました。多数の方の参加と論文投稿，ありがとうございました。
【会期】
2019年11月19日(火)−11月21日(木)
【会場】
アクトシティ浜松
〒430-7790 静岡県浜松市中区板屋町111-1
TEL: 053-451-1111
第36回センサシンポジウムHP
【プログラム】
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【懇親会の様子】
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【論文募集分野】
応用物理学会関連として、CMOS-MEMS技術、センサ用薄膜、異種材料の成膜技術、三次元形状形成、バイオ・生体用関連デバイス・材料、ウェハプロセス技術、シミュレーション、センサ用回路設計技術、IoT関連応用、RF-MEMS技術、エネルギーハーベスト技術、実装技術、ナノツール、機能性メンブレンなどについて広く論文を募集します。
【発表形式】
講演形式（15分質疑応答3分を含む）およびポスター形式
【使用言語】
日本語または英語
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