● 第６回集積化MEMSシンポジウム 優秀論文賞：
「21pm2-c3：画素並列信号処理を行う撮像デバイスの実現に向けた３次元集積回路の試作と評価」
後藤 正英1， 萩原 啓1， 井口 義則1， 大竹 浩1，
更屋 拓哉2， 日暮 栄治2， 年吉 洋2， 平本 俊郎2
(1NHK放送技術研究所，2東京大学)
● 第６回集積化MEMSシンポジウム 研究奨励賞（２名）：
「22am2-c6：流体可変平面キャパシタにおける静電容量可変率の評価」
橋上 護 （立命館大学）
「22pm1-c4：積層構造のスケーリング設計によるCMUTの周波数特性の制御」
長谷川 浩章 （日立製作所）
