ホームへ移動



第5回 集積化MEMSシンポジウム 受賞者


● 優秀論文賞:
   柄崎 將寛、熊谷 慎也、佐々木 実; 豊田工業大学
   「マイクロ流体界面へのシート状反応性プラズマ形成の検証」        

● 奨励賞(2名):
   早坂 丈(東北大学)、「LSI集積化アンペロメトリックセンサアレイへの導電性ダイヤモンド電極の形成」
   小島 貴裕(東北大学)、「LSIをダイヤフラムとする集積化触覚センサの作製」

             


 Copyright (c) 応用物理学会 集積化MEMS技術委員会 All Right Reserved