| セッション |
時間 |
講演タイトル |
開会のご挨拶
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13:00-13:05 |
○平本 俊郎 教授
（東京大学／集積化MEMS技術研究ワークショップ統括） |
招待講演
（４0分）
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13:05-13:45 |
「低温導電性カーボン電極の形成とバイオLSI センサーへの応用」
○菊地良幸1、井上久美2、寒川誠二2
1. 東京エレクトロン株式会社
2. 東北大学 |
休憩
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13:45-14:00 |
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発表
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14:00-14:40 |
ポスターショートプレゼンテーション
（40分，1件あたり5分）
【Ｐ１】 「SiC グラフェン積層構造における電気特性の角度依存性」
木村 幸将，永瀬 雅夫，大野 恭秀 （徳島大学）
【Ｐ２】 「MEMS 加速度センサ用高分解能容量検出回路の評価」
高安 基大1,3，道正 志郎1,3，伊藤 浩之1,3，山根 大輔1,3，小西 敏文1,2,3，町田 克之1,3，
石原 昇1,3，益 一哉1,3 （1 東京工業大学，2 NTT アドバンステクノロジ株式会社，3 JST-CREST）
【Ｐ３】 「高分解能２軸触覚センサにおける対象表面と微細接触子間の接触解析」
綿谷一輝1， 寺尾京平1,2， 下川房男1,2， 高尾英邦1,2 （1 香川大学，2 JST-CREST）
【Ｐ４】 「齧歯類動物向け聴覚中枢系補綴器の開発」
村上修一1, 高橋壮太2, 岩城 遼2, 佐藤和郎1, 田中恒久1, 宇野真由美1, 舘野 高2
（1 大阪産業技術研究所, 2 北海道大学）
【Ｐ５】 「超高解像型 MEMS 触覚センサにおける接触子破損に関する考察」
中島 翼1， 綿谷 一輝1，寺尾 京平1,2，下川 房男1,2，高尾英邦1,2 （1 香川大学，2 JST-CREST）
【Ｐ６】 「積層メタル技術を用いた高感度MEMS 傾斜計の検討」
辻 一平1,3，高安 基大1,3，伊藤 浩之1,3，山根 大輔1,3，小西 敏文1,2,3，道正 志郎1,3，石原 昇1,3，
町田 克之1,3，益 一哉1,3 （1 東京工業大学，2 NTT アドバンステクノロジ株式会社，3 JST-CREST）
【Ｐ７】 「微細な表面形状と摩擦を用いたザラザラ感定量化モデル」
大西智博1，綿谷一輝1，佐藤敬子1,2，寺尾京平1,2，下川房男1,2，高尾英邦1,2 （1 香川大学，2 JST-CREST）
【Ｐ８】 「イオン性ゲルを用いた SiC 上グラフェンデバイスの特性評価」
森高恭平, 大野恭秀, 永瀬雅夫 （徳島大学）
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| 14:40-15:40 |
ポスターセッション
（60分）
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休憩
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15:40-15:50 |
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研究紹介
（30分）
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15:50-16:10 |
「香川のＭＥＭＳ研究拠点紹介」
○高尾 英邦 教授
（香川大学） |
閉会の挨拶
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16:10-16:15 |
○平本 俊郎 教授
（東京大学／集積化MEMS技術研究ワークショップ統括） |
見学会
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16:15-17:40 |
香川大学微細構造デバイス統合研究センター
香川県科学技術研究センター
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