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第2回 集積化MEMS技術研究ワークショップ


開催日時:平成22年7月9日(金)13:00〜17:00
開催会場:東レリサーチセンター
懇親会:同上

開催要領

ワークショップ参加者 42名
実験室見学者 35名
懇親会参加者 34名


講演プログラム

 
講演タイトル
開会の辞 ○益 一哉 会長 (東京工業大学)
東レリサーチセンター研究部門長ご挨拶 ○部門長 (東レ)
【招待講演】周波数可変と広帯域のためのMEMS集積化技術 ○鈴木 健一郎 (立命館大学)
【招待講演】Measureing and Visualizing Mechanical Vibration up the GHz Regime ○フランソワ・ブディ
【特別講演】半導体デバイスの評価解析 ○山田 敬一(東レ)
ポスターセッション
印刷版プログラム


講演内容

 
予稿集
ワークショップの様子
どなたでも閲覧可能   会員専用


ポスター賞


  以下の論文が第2回集積化MEMS技術ワークショップのポスター賞に決定しました。おめでとうございます。
 
  ●TSV,MEMSデバイスの評価技術 東レリサーチセンター 関 洋文、高橋和巳、橋本秀樹
  ●集積化電気化学測定チップの設計と製作 豊橋技術科学大学 山崎智幸、池田貴昭、石田 誠、澤田和明
  ●サブミクロン狭ギャップを有する集積化MEMSスイッチの開発 立命館大学 山本翔司、北村隆二、鈴木健一郎
  ●感光性高耐熱性樹脂を用いたMEMSキャップの接合技術 ピーアイ技術研究所 堀内幸男、金 行洲
   
  9月14日(火)の応物シンポジウム後の懇親会にて表彰式を行います


開催案内


  応用物理学会集積化MEMS技術研究会は、集積化MEMS技術に関するワークショップを開催します。本ワークショップでは、東レリサーチセンタのご協力を得て当センタでの開催を実施いたします。当センタでのMEMS関連技術への取り組みをご紹介すると共に、ワークショップで今後の集積化MEMS技術について広く議論することを目的とします 
  集積化MEMSは、次世代のデバイス・システム研究開発を担うMore than Mooreの一つの解として近年とくに脚光を浴びています。その背景のもとに2008年に応用物理学会に集積化MEMS技術研究会が設立されました。その活動は、MEMSとLSIの両技術分野の融合と新たなテーマ開拓に向けて、幅広い技術分野を視野に、学問的見地から実用化に至るまでの議論の場を提供し、これまでに多くの参加者と共に内容が高く評価されています。本ワークショップ開催により、信頼性、分析技術に関する集積化MEMS技術のより深い交流の場が生まれることを期待しております。
  今回、基調講演として立命館大学 鈴木健一郎先生に「周波数可変と広帯域化のための集積化MEMS技術」と題して、および招待講演としてポリテックジャパン株式会社フランソワ ブテイ(Francois Bouteille)氏に「Measuring and visualizing Mechanical Vibrations up to the GHz Regime」と題してご講演を頂く予定です。一般の発表は、すべてショート講演(3−5分予定)+ポスター形式(展示も含む)とします。ただし、投稿いただいた発表の中から2件について事務局からご発表形式のご講演を依頼させていただきます。尚、本ワークショップでは優秀なポスターに優秀ポスター賞を授与する予定です。多くの方の投稿、参加をお願い申し上げます。
   
  開催日時 平成22年7月9日(金),13:00 〜 17:00 
  開催場所 株式会社 東レリサーチセンター
所在地:大津市園山3−3−7(東レ研究東3号館)

アクセスはこちら
交通アクセスJR琵琶湖線の「石山駅」で下車して下さい。(京都駅より新快速で約15分)
大阪・京都方面より 新快速または快速(草津、野洲、長浜、敦賀、米原、大垣行きなど)
 ※ 湖西線(大津京方面)は方向が違いますので、お乗りにならないようご注意下さい。
 ※ タクシーで「東レの研究東門」までお越し下さい。(所要時間 約5分)
 ※ バスをご利用の場合は、帝産バス「焼野(永大団地由)」行」で「売店前」下車です。(所要時間 約10分)1時間に1〜2本運行
  実験室見学 16:00〜17:00
社内展示施設の見学を予定
  発表申込 発表は集積化MEMS技術研究会会員に限ります。
ポスター発表の内容をこちらの指定様式の1ページ・サマリーに記載し、平成22年6月25日(金)までにメールにてお申し込み下さい。
発表言語は、日本語または英語。ご講演を依頼する場合は、6月中旬までにメールにてご連絡します。
  参加申込 聴講ご希望の場合にも、事前申し込みが必要です。
平成22年7月1日(木)までに下記のメールアドレスにお申し込み下さい。
  参加費 研究会会員無料、非会員5000円
  懇親会 時間17:00-19:00、会費3,000円
研究会終了後に、東レ懇親会会場で懇親会を予定しています。お誘い合わせの上、ご参加下さい。
  優秀ポスター賞 ポスター発表及び展示者から発表されたポスター及び出展のうち,特に優秀なものを優秀ポスター賞としてアンケートに基づいて選考します
  講演・参加申込先,問合先  事務局e-mail: integMEMS2009@nano.pi.titech.ac.jp
申し込みは、下記情報をご記入後、電子メールにてお願いします
    第2回 集積化MEMS技術研究ワークショップ 参加申込
氏名 ______________
所属機関 ______________
電子メール ____@_________
電話 ______________
連絡先住所 〒_____________
集積化MEMS技術研究会会員:会員 / 非会員 / 学生
実験室見学の有無:    参加 / 不参加
懇親会参加の有無:    参加 / 不参加
     
  会告のPDFファイルはこちら
   

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