集積化MEMSは，次世代のデバイス・システムの成長原動力となるMore than Moore技術の1つとして，最近，注目を集めています。 本研究会は，MEMSとLSIの両技術分野の融合と新たなテーマ開拓に向けて，材料，プロセス，デバイス構造，実装技術，高歩留まり技術， 高信頼化技術などを視野に入れ，基礎研究から実用化に至るまでの様々な段階に関する活発な議論の場を提供します。 今回は主として「次世代半導体技術」に焦点を当てて，最近の動向について一線でご活躍の講師をお招きして研究会を開催いたしました。

また，また，本研究会を熊本大学イノベーション推進機構と熊本大学パルスパワー科学研究所の共同ホストにて受け入れていただくにあたり， 熊本県にて世界に向けた半導体ビジネスをされている，東京エレクトロン九州様，ソニーセミコンダクタ熊本TEC様の企業見学を研究会の翌日午前中に企画いたしました。

● 開催日時：
　　　　　　　研究会：平成26年5月29日（木）13:20〜17:00
　　　　　　　研究会：平成26年5月30日（金）�@9:15〜10:30，�A10:45〜12:00

● 研究会開催会場：熊本大学工学部百周年記念館
　　　　　　　　研究会写真


● 見学会開催会場：
　　　　　　　�@東京エレクトロン九州：熊本県合志市福原1-1
　　　　　　　�Aソニーセミコンダクタ熊本TEC：熊本県菊池郡菊陽町大字原水4000-1
　　　　　　　　見学会写真


● 懇親会：串兆ダイニング　熊本市中央区
　　　　　　　　懇親会写真

研究会参加者	３３名
見学会参加者	２０名
懇親会参加者	１５名

懇親会（５月２９日）

● 18:30　-　20:30　串兆ダイニング　熊本市中央区　

見学会（５月３０日）

●　9:15　-　10:30　東京エレクトロン九州　

● 10:45　-　12:00　ソニーセミコンダクタ熊本TEC　

企画担当

【総括】 石井 仁　（豊橋技術科学大学）　
【主査】 積 知範　（オムロン株式会社）　
【副査】 美濃谷 直志　（NTTマイクロシステムインテグレーション研究所）　
【副査】 山根　大輔　（東京工業大学）