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集積化MEMS技術研究会
委員長 平本俊郎（東京大学）
公益社団法人応用物理学会集積化MEMS技術研究会は，集積化MEMS技術に関するワークショップを定期的に開催しています．集積化MEMS技術研究ワークショップは研究会会員様からの研究成果の発表とともに企業の賛助会員様からの技術紹介も行い，議論や情報交換を行うことを主な目的としています．また，ワークショップは企業や研究機関で開催され，今後の会員皆様の研究開発に役立つ情報が得られるように開催場所では見学会も企画しています．
本第１０回集積化MEMS技術研究ワークショップは，産業技術総合研究所・集積マイクロシステム研究センターにて開催し，2件の招待講演と複数の一般講演を実施いたしました．
一般講演として、一般会員様や企業の賛助会員様からの発表および技術紹介は，すべてショート講演（3−5分予定）＋ポスター形式（展示も含む）で行い，優秀なポスターに優秀ポスター賞を授与いたしました．
最後に，多くの方の投稿と参加，誠にありがとうございました．
【日時】
令和元年7月26日（金） 13：00〜17：40
【会場】
産業技術総合研究所（つくば東）・集積マイクロシステム研究センター
（〒305-8564 茨城県つくば市並木1-2-1）
【会の様子】
pdf
【Agenda】
| 時間 |
内容 |
| 13:00〜 |
開会挨拶 |
| 13:10〜 |
招待講演
小林 健（産業技術総合研究所）
「極薄MEMS・フレキシブル基板集積化技術とIoTデバイスへの応用」
鈴木健太（産業技術総合研究所）
「混合凝縮性ガスを導入する光ナノインプリントによる線幅20nm以下のパターニング技術の開発」 |
| 14:10〜 |
ショート講演とポスターセッション |
| 16:00〜17:30 |
見学会 「集積マイクロシステム研究センター紹介と見学」 |
| 17:30 |
閉会 |
| 19:00〜21:00 |
意見交換会 |
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