公益社団法人応用物理学会集積化MEMS技術研究会は，集積化MEMS技術研究会創設10周年を記念する企画として，2016年に平戸で開催された日本-台湾国際交流シンポジウムの第2回，例年5月開催の研究会および例年7月開催のワークショップの3イベントを合同とする合同研究会を，台湾のMEMS関連の国内学会（Nano-engineering and Micro-system Technology, 2018/6/1-2 （http://www.nma.tw/） ）にジョイントし，開催しました。
これまでの5月開催の研究会では招待講演を主とし，7月開催のワークショップでは，研究発表とともに企業の賛助会員様からの技術紹介も行い，議論や情報交換を行うことを主な目的としてきました。また，ワークショップは企業や研究機関で開催され，参加者の研究開発に役立つ情報が得られるように開催場所の見学会を企画してきました。
今回の合同研究会は，初日は新竹にてワークショップおよび，大学・企業の見学会を開催し，二日目は台北にて研究会を開催しました。本研究会では1件の基調講演と4件の招待講演（日本2件，台湾2件）をいただきました。一般会員様からの発表は，すべてショートプレゼン（2分予定）＋ポスター形式（展示も含む）としました。最後に，多くの方の投稿と参加，誠にありがとうございました。
●開催日時
ワークショップ ： 2018/05/31（木）09:30-11:30
見学会 ： 2018/05/31（木）11:30-18:00
研究会 ： 2018/06/01（金）11:20-17:30
● 開催会場
ワークショップ ： 国立清華大学R108
研究会 ： Fullon Hotel Taipei East
● 懇親会
1日目 ： Pengyuan
2日目 ： Fullon Hotel Taipei East
● 日本からの参加人数
ワークショップ ： 25名
見学会 ： 31名
研究会 ： 32名
●写真
初日 ２日目
09:30-09:40 Opening & Univ. of Tokyo - NTHU MOU Ceremony
09:40-11:00 Inviting presentations by young faculty members from Taiwan and Japan
09:40-09:50
Asst. Prof. Hiroaki Honma, Univ. of Tokyo, “Electrostatic Energy-Harvesters with Symmetric Comb Drive Structures for High-Power and High-Efficiency Performance”
09:50-10:00
Asst. Prof. Chihchen Chen, iNEMS NTHU, “Continuous Microfluidic Assortment of InteractiveLigands (CMAIL)”
10:00-10:10
Asst. Prof. Daisuke Yamane, Tokyo Inst. of Tech., “High-Sensitivity MEMS Inertial Sensor for Medical Applications”
10:10-10:20
Asst. Prof. Yu-Lin Wang, iNEMS NTHU, “Mobile Diagnostic with One Drop of Blood”
10:20-10:30
Asst. Prof. Tso-Fu Mark Chang, Tokyo Inst. of Tech., “Electrodeposition of Gold-Based Materials for Applications in MEMS”
10:30-10:40
Asst. Prof. Cheng-Yao Lo, iNEMS NTHU, “Enhancement of Angle and Spatial Resolution in Tactile Sensors”
10:40-10:50
Asst. Prof. Chiemi Oka, Nagoya Univ., “Improving Wettability of Porous Stainless Steel for Innovation of Heat Transfer Devices”
10:50-11:00
Assoc. Prof. Wei-Chih Wang, iNEMS NTHU, “2D Electrostatic Cantilever Waveguide Scanner”
11:00-11:30 Plenary Talk
Prof. Weileun Fang (PME National Tsing Hua Univ.), “MEMS/Sensors Ecosystems in Taiwan”
11:30-13:00 Lunch in campus restaurant
13:00-18:00 Technical Tour in Hsinchu Area
・NDL (National Nano Device Laboratories) (http://www.ndl.org.tw/)
・CIC (Chip Implementation Center) (https://www.cic.org.tw/english/index.jsp)
・ITRC (Instrument Technology Research Center) (http://www.itrc.narl.org.tw/)
・TDK InvenSense Inc.
・APM (Asia Pacific Microsystems)
18:00-20:00 Banquet in Pengyuan
20:00-21:00 Move to Taipei by Shuttle Bus
11:20-12:00 Plenary Talk
Prof. Hiroshi Toshiyoshi (Univ. of Tokyo), “MEMS Vibrational Energy Harvester for IoT Wireless Sensor Applications”
12:00-13:30 Break
13:30-14:30 Poster Session: Short Presentation
Each poster presenter will give 2 minutes short presentation for the poster.
14:30-15:50 Japan-Taiwan Joint Session
14:30-14:50
Dr. Ralph Tsung-Hsien Lin (TDK InvenSense Inc.), “Miniaturized Pressure Sensor Technology through Integrated MEMS Approach”
14:50-15:10
Prof. Toshiro Hiramoto (Univ. of Tokyo), “Advanced CMOS Devices for VLSI: Present Status and Roadmap”
15:10-15:30
Prof. Masato Sone (Tokyo Inst. of Tech.), “Characteristics of Electroplated Gold Material with Multilayer Metal Technology for CMOS-MEMS Accelerometer”
15:30-15:50
Prof. Tim Chih-Ting Lin (National Taiwan Univ.), “CMOS-NEMS Integration for Bio and Chemical Sensing”
15:50-16:00 Break
16:00-17:30 Poster Session
18:30-20:00 Banquet
【研究会総括】 石井 仁 （豊橋技術科学大学）
【研究会企画】 秦 誠一 （名古屋大学）
関 洋文 （東レリサーチセンター）
川越 理史 （株式会社SCREENホールディングス）
【ワークショップ総括】 町田俊太郎 （(株）日立製作所中央研究所）
【ワークショップ企画】 後藤 正英 （ＮＨＫ放送技術研究所）
山西 良樹 （東京エレクトロン㈱）
村上 修一 （大阪産業技術研究所大阪産業技術研究所）
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