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2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会
−半導体Aと合同セッションLによる分科企画シンポジウム
Present and future of CMOS/MEMS integrateion(英語セッション)


開催日時:平成25年3月27日(水)13:30〜16:15
開催会場:神奈川工科大学、G9会場
懇親会&第4回「集積化MEMSシンポジウム」表彰:そば天 厚木店 (18:00-21:00、会費3,000円)

懇親会写真



講演プログラム

 
講演タイトル
13:30〜14:00 The outlook for integration devices of MEMS and LSI
 ○Shuntaro Machida
(Hitachi, Ltd. Central Research Lab.)
14:00〜14:30 Bumpless 3D Interconnects for the Tera-scale Bandwidth and High Density Devices Equivalent to <10nm Node Scaling
 ○Takayuki Ohba
(The Univ. of Tokyo)
14:30〜15:00 Towards Sensors Implementation and Integration Using the CMOS MEMS Platform
 Chuanwei Wang,Chih-Ming Sun,Ming-Han Tsai,Yu-Chia Liu,○Weileun Fang
(National Tsing Hua Univ.)
15:00〜15:15 Break 
15:15〜15:45 System LSI Design and VDEC Activities toward More Than Moore
 ○Makoto Ikeda
(The Univ. of Tokyo)
15:45〜16:15 MEMS Design in SPICE Environment
 ○Hiroshi Toshiyoshi1,Toshifumi Konishi2,Katsuyuki Machida2,Kazuya Masu3
(The Univ. of Tokyo1,NTT-AT2,Tokyo Inst. Tech3)
18:00〜21:00 懇親会

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