| セッション |
講演番号 |
講演タイトル |
ショートプレゼン
7/20 （金）
14:20-15:00
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P1 |
「新機能デバイスのための３Ｄ構造体実現に向けたＳＴＰ技術」
○松島 隆明，工藤 和久，小西 敏文，矢野 正樹，町田 克之
(ＮＴＴアドバンストテクノロジ（株）) |
| P2 |
「TSV, MEMSデバイスの評価技術」
○関 洋文，橋本 秀樹
(（株）東レリサーチセンター) |
| P3 |
「サーモグラフィを用いたアモルファス合金のハイスループット結晶化検知法」
○高橋 直也1，青野 祐子1，桜井 淳平2，秦 誠一2
(1東京工業大学大学院，2東京工業大学 精密工学研究所) |
| P4 |
「コンビナトリナル新対向ターゲット式スパッタ法における組成傾斜拡大法」
○前谷 卓哉1，中光 豊2，秦 誠一3
(1東京工業大学大学院，2FTSコーポレーション，3東京工業大学 精密工学研究所) |
| P5 |
「アレイ型ＣＭＯＳ-ＭＥＭＳ加速度センサの検討」
○山根 大輔1，本橋 剛1，小西 敏文2，松島 隆明2，伊藤 浩之1，石原 昇1，年吉 洋3，町田 克之1,2，益 一哉1
(1東京工業大学，2NTT アドバンステクノロジ 株式会社，3東京大学) |
| P6 |
「集積化ＭＥＭＳ技術による細菌迅速診断チップの開発」
勝部 恭平1，○林 隆平1，辛 永式1，中澤 寛一1，石田 誠1，澤田 和明1，石井 仁1，町田 克之1,2，石原 昇3，益 一哉3，王 常楽4，竹川 雄太4，飯田 健一郎4，齋藤 光正4，藤井 潤4，吉田 眞一4
(1豊橋技術科学大学，2東京工業大学，3NTT アドバンステクノロジ 株式会社，4九州大学医学研究院） |
| P7 |
「Fabrication of microfluidic device for the bacteria observation」
○Youngshik Shin1，Kyohei Katsube1，Makoto Ishida1，Kazuaki Sawada1，Hiromu Ishii1，Katsuyuki Machida2,3，Noboru Ishihara3，Kazuya Masu3，Ken-ichiro Iida4，Mitsumasa Saito4，Jun Fujii4，Shin-ichi Yoshida4
(1Toyohashi Tech.，2NTT-AT，3Tokyo-Tech，4Graduate School of Medical Sciences Kyushu Univ.） |
| P8 |
「異種機能集積センターの紹介」
○益 一哉
(東京工業大学 異種機能集積センター) |
