X線・EUV光は物質との相互作用が可視光と大きく異なるため、「X線光学」という学問分野が存在します。EUV 光は主に半導体リソグラフィーに、X線は顕微鏡・医学・天文学に利用され、広い学問分野や産業分野で不可欠な存在となっています。
本講習会では X線・EUV光学分野の著名な講師の方々をお招きして、X線光学の基礎から半導体リソグラフィー・顕微鏡・天文学の基礎と応用に関して解説していただきます。
主催
一般社団法人日本光学会
開催場所
オンライン
参加費
日本光学会個人会員・応用物理学会個人会員 | 20,000円 |
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日本光学会賛助会員・協賛学協会個人会員 | 25,000円 |
日本光学会学生会員・応用物理学会学生会員 | 1,000円 |
非会員 | 40,000円 |
学生非会員 | 3,000円 |
プログラム
2025年1月30日(木)
10︓20〜10︓30 開会の辞
⽇本光学会 会⻑ 川田 善正(静岡大学)
10︓30〜12︓00 X線・EUV光学の基礎(仮)
雨宮 健太(高エネルギー加速器研究機構物質構造科学研究所)
12︓00〜13︓00 < 昼⾷ >
13︓00〜14︓30 EUV半導体リソグラフィの基礎と応用の最前線、今後の展望
原田 哲男(兵庫県立大学)
14︓30〜14︓50 < 休憩 >
14︓50〜16︓20 X線望遠鏡 - 基礎、製作、およびX線天文学の最前線 – (仮)
石田 学(宇宙科学研究所)
2025年1月31日(金)
9︓10〜10︓40 X線イメージングの医学・生命科学への応用の最前線(仮)
水谷 隆太(東海大学)
10︓40〜10︓50 < 休憩 >
10︓50〜11︓50 X線タイコグラフィの基礎と応用の最前線(仮)
高橋 幸生(東北大学)
11︓50〜12︓50 < 昼⾷ >
12︓50〜13︓50 X線分析・イメージングの産業利用の最前線(仮)
末広 省吾((株)住化分析センター)
13︓50〜14︓50 X線自由電子レーザーによるX線イメージング光学系の開発と応用最前線(仮)
山田 純平(大阪大学)
14︓50〜15︓00 < 休憩 >
15︓00〜16︓00 X線・EUV・VUV及び可視分光を用いた核融合プラズマの計測
大石 鉄太郎(東北大学)
16︓00〜17︓00 はやぶさ2サンプルのマルチプローブ顕微分析(仮)
伊藤 元雄(JAMSTEC高知)
17︓00〜17︓10 < 休憩 >
17︓10〜18︓10 EUV半導体関係(仮)
TBS
18︓10〜18︓15 閉会の辞
実⾏委員⻑ 篭島 靖(兵庫県立大学)
お問い合わせ先
担当者:的場 修(神戸大学次世代光散乱イメージング科学研究センター)
住所:神戸市灘区六甲台町1-1
TEL:078-803-6235
e-mail:078-803-6235