第53回薄膜・表面物理セミナー「デバイス製造における固液界面現象の科学と技術」のご案内
応用物理学会 薄膜・表面物理分科会では、本年度の薄膜表面セミナーを「デバイス製造における固液界面現象の科学と技術」と題して下記
本セミナーでは、次世代の電子デバイス製造で鍵を握る固液界面現象に関わる技術や科学の最前線について、表面プロセス(洗浄やエッチング)や極微計測、材料(シリコン系、有機半導体、二次元層状物質)の観点、さらには、国際的な人材流動化との関連にも着目しながら講演をい
開催形式は対面及びオンラインのハイブリッドとしておりますので
また、学生は所属学会を問わず無料での参加が可能です。
ぜひお近くの学生さんにもお声がけください。
参加申し込みは6月28日まで受付けておりますので多くの皆様の
日時:2025年7月4日(金) 9:45~16:35
場所:大阪大学 中之島センター10F 佐治敬三メモリアルホール4 及び Zoom (ハイブリッド)
プログラム:
田中孝佳 「界面化学から見る半導体洗浄技術の過去・現在・未来」
北島知彦 「シリコンバレーの半導体製造装置メーカーにおける先端デバイス
馬渡和真 「ナノ流体デバイスで明らかにする数nmから数100nmの溶液
田原太平 「ヘテロダイン検出振動和周波発生分光による水/酸化物界面の観
藤井彰彦 「有機半導体の印刷製膜の現状と課題」
桐谷乃輔 「溶液処理による遷移金属ダイカルコゲナイドの光学特性変調」
問い合わせ先:
有馬健太(大阪大学: arima@prec.eng.osaka-u.ac.jp )