本講演会は2024年 第85回応用物理学会秋季学術講演会にてシンポジウム「異分野に拡がる界面ナノ電子化学 ～最先端半導体からバイオサイエンスまで～」として開催されました．

【開催趣旨】最先端の半導体ウェットプロセスは，ナノレベルでの気液固体の相互作用によって制御されます．現象を把握するには，電子化学的な解明が必要でありこのシンポジウムでは，バイオサイエンス等の異なる分野の研究者や技術者と議論し，新たな半導体ウェットプロセス技術の創出につなげます．

日時：2024年9月18日(水) 13:30～17:00
会場：新潟
資料：案内パンフレット

【招待講演】
■ 洗浄乾燥時の微細構造倒壊メカニズム
　小出 辰彦（キオクシア）
■表面極近傍に移動するナノ粒子の三次元挙動観測
　カチョーンルンルアン パナート（九州工業大学）
■多彩な液体と気体のインタラクションで見るバイオ界面
　田中 信行（理化学研究所）
■FM-AFMによるナノスコピックなぬれのその場観察
　荒木 優希（金沢大）

【招待講演・INE第8回ポスター展優秀講演賞記念講演】
■ nmサイズの狭所内SiO2 エッチングにおけるシリコンの疎水性及び表面電位の効果
　宮川 彰平（SCREENホールディングス）

【一般講演】
■枚葉スピン式洗浄のリンス処理における薬液排出過程の三次元数値計算
■純水噴霧の誘導帯電メカニズムの解析
■二流体スプレー時の飛行液滴の電荷特性とSiO2ウェハの表面電位の関係性