「ワーキンググループ」カテゴリーアーカイブ

育成WG 第0回「材料表面加工のための電気化学：電位の考え方と使い方」(2023.11 千駄ヶ谷)

育成ワーキンググループ活動開始のプレイベントとして，第8回ポスター発表展当日の午前中に，京大深見先生より電気化学の基礎について講義を行って頂きました．

■2023年11月27日(月) 10:25-12:30
■場所：ナガセグローバル人財開発センター(東京都渋谷区千駄ヶ谷)
■チュートリアル
　「材料表面加工のための電気化学：電位の考え方と使い方」
　深見一弘先生 (京都大学大学院工学研究科)
■参加者数：78名

吸着・乾燥WG合同ワークショップ第4回「シン・IPAに存在する金属不純物のウェハへの吸着挙動」(2023.6 田町)

2015年より活動を開始した吸着WGの原点に立ち返り，「IPAに存在する金属不純物のウェハへの吸着挙動」について，この8年の間に蓄積された情報を活用しつつ再度議論を行いました．

■2023年6月28日(水) 13:00-17:00
■場所：キオクシア本社田町ステーションタワーS
■ ファシリテータ：
　キオクシア吉水康人
　オルガノ矢野大作
■参加者数：21名

吸着・乾燥WG合同ワークショップ第3回「回転基板上のLES-VOF法を使用した流体シミュレーション」(2023.5 田町)

SCREEN セミコンダクターソリューションズの佐藤様より，回転基板(ウェハ)上の流動解析についてご講演頂いた上で，界面における水の挙動について議論しました．

■2023年5月19日(金) 13:00-17:00
■場所：キオクシア本社田町ステーションタワーS
■講演
株式会社SCREEN セミコンダクターソリューションズ佐藤雅伸様
「回転基板上のLES-VOF法を使用した流体シミュレーション」
■ ファシリテータ：
　キオクシア吉水康人
　オルガノ矢野大作
■参加者数：21名

吸着・乾燥WG合同ワークショップ第2回「接合性と機能を一括して得るための低温大気圧表面改質手法」(2023.3 田町)

物質・材料研究機構(NIMS)の重藤様より，低温＆非真空ハイブリッド接合技術についてご講演頂いた上で，接合時における水分子の役割について議論しました．

■2023年3月10日(金) 13:00-17:00
■場所：キオクシア本社田町ステーションタワーS
■講演
物質・材料研究機構重藤暁津様
「接合性と機能を一括して得るための低温大気圧表面改質手法」
■ ファシリテータ：
　オルガノ矢野大作
　キオクシア吉水康人
■参加者数：17名

吸着・乾燥WG合同ワークショップ第1回「最先端等方性ドライエッチ技術とウエットプロセスとのアナロジーの深掘り」(2023.2 田町)

2022年12月にINE Linkにてご講演頂きました日立ハイテク大竹様に再登壇頂き，水の機能と役割について，より深い議論を行いました．

■2023年2月17日(金) 14:00-17:00
■場所：キオクシア本社田町ステーションタワーS
■講演
日立ハイテク大竹浩人様
「最先端等方性ドライエッチ技術とウエットプロセスとのアナロジー」の深掘り
■ ファシリテータ：
　東京エレクトロン九州中森光則
　キオクシア吉水康人
■参加者数：23名