ワーキンググループ」カテゴリーアーカイブ

第5回吸着WG検討会 (2016.2)

日時:2016年2月3日(水) 13:30~17:00
場所:株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ 品川事業所
プログラム:
基調講演 有馬健太准教授(大阪大学)
「極限レベルの表面創成プロセスとクリーン化技術」
ワークショップ 永渕琢也氏(日本インテグリス)

第3回吸着WG検討会 (2015.8)

日時:2015年8月28日(金) 13:30~17:00
場所:東京エレクトロン株式会社 本社
プログラム:
講演 川端克彦氏(イアス)
「IPA中のメタル分析のための前処理方法」
講演 溝口勝男氏(アジレント・テクノロジー)
「IPA中のメタル分析のためのICPMS分析技術」
ワークショップ 斉藤美佐子氏(東京エレクトロン)

第1回吸着WG検討会 (2015.4)

日時:2015年4月24日(金) 13:00~17:30
場所:京都大学 思修館(東一条館)
プログラム:
基調講演 山口栄一教授(京都大学 総合生存学館)
「サイエンスイノベーション 現象解明と暗黙知の共鳴場」
セミナー 森良弘氏(堀場製作所)
「薬液中金属不純物のSiウェーハ表面への吸着」
ワークショップ 近藤郁氏(RION)