日時:2019年6月21日(金) 13:00~17:00
場所:株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ 品川事業所
プログラム:
「 “綺麗”ではない乾燥とは? 」
参加者:20名
「ワーキンググループ」カテゴリーアーカイブ
吸着ワーキンググループ Season2 第3回 (2019.3)
日時:2019年3月27日(水) 12:00~17:00
場所:株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ 品川事業所
プログラム:
「物質移動係数の基礎」
「有機材料中極微量金属の存在形態について」
参加者:20名
吸着ワーキンググループ Season2 第2回 (2019.1)
日時:2019年1月18日(金) 13:30~17:30
場所:株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ 品川事業所
プログラム:
「 有機溶剤中の極微量汚染に関する吸着現象の理解と分析手法 」
参加者:14名
第5回吸着WG検討会 (2016.2)
日時:2016年2月3日(水) 13:30~17:00
場所:株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ 品川事業所
プログラム:
基調講演 有馬健太准教授(大阪大学)
「極限レベルの表面創成プロセスとクリーン化技術」
ワークショップ 永渕琢也氏(日本インテグリス)
第4回吸着WG検討会 (2015.11)
日時:2015年11月27日(金) 10:00~17:00
場所:株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ 品川事業所
プログラム:
基調講演 泉克文氏(泉特許事務所所長)
「暗黙知の見える化」
総括ワークショップ
第2回乾燥WG検討会 (2015.10)
日時:2015年10月2日(金) 14:00~17:00
場所:関東化学株式会社 本社
プログラム:
佐藤正秀准教授(宇都宮大学 物質科学専攻)
「ぬれ性のメカニズムと測定・制御技術」
ディスカッション
第3回吸着WG検討会 (2015.8)
日時:2015年8月28日(金) 13:30~17:00
場所:東京エレクトロン株式会社 本社
プログラム:
講演 川端克彦氏(イアス)
「IPA中のメタル分析のための前処理方法」
講演 溝口勝男氏(アジレント・テクノロジー)
「IPA中のメタル分析のためのICPMS分析技術」
ワークショップ 斉藤美佐子氏(東京エレクトロン)
第4回水のチャージアップWG討論会 (2015.8)
日時:2015年8月20日(木) 14:00~17:00
場所:オルガノ株式会社 本社
プログラム:
星野勝義教授(千葉大学大学院 融合科学研究科)
「絶縁性高分子フィルムの摩擦帯電現象について」
第2回吸着WG検討会 (2015.6)
日時:2015年6月18日(木) 13:00~17:00
場所:関東化学株式会社 本社
プログラム:
講演 亀田恭男教授(山形大学 理学部)
「非水溶媒中の金属形態」
ワークショップ 菅原広氏(オルガノ)
第1回吸着WG検討会 (2015.4)
日時:2015年4月24日(金) 13:00~17:30
場所:京都大学 思修館(東一条館)
プログラム:
基調講演 山口栄一教授(京都大学 総合生存学館)
「サイエンスイノベーション 現象解明と暗黙知の共鳴場」
セミナー 森良弘氏(堀場製作所)
「薬液中金属不純物のSiウェーハ表面への吸着」
ワークショップ 近藤郁氏(RION)