ワーキンググループ」カテゴリーアーカイブ

第1回吸着WG検討会 (2015.4)

日時:2015年4月24日(金) 13:00~17:30
場所:京都大学 思修館(東一条館)
プログラム:
基調講演 山口栄一教授(京都大学 総合生存学館)
「サイエンスイノベーション 現象解明と暗黙知の共鳴場」
セミナー 森良弘氏(堀場製作所)
「薬液中金属不純物のSiウェーハ表面への吸着」
ワークショップ 近藤郁氏(RION)

第1回水のチャージアップWG討論会 (2013.3)

日時:2013年3月7日(木) 14:00~17:00
場所:ルネサスエレクトロニクス 相模原事業所
プログラム:
清家善之氏(旭サナック株式会社)
「純水スプレー洗浄工程における静電気の発生メカニズムとその対策」
矢野大作氏(オルガノ株式会社)
「水のチャージアップWG活動報告および研究課題の提言」