第3回吸着WG検討会 (2015.8)

日時:2015年8月28日(金) 13:30~17:00
場所:東京エレクトロン株式会社 本社
プログラム:
講演 川端克彦氏(イアス)
「IPA中のメタル分析のための前処理方法」
講演 溝口勝男氏(アジレント・テクノロジー)
「IPA中のメタル分析のためのICPMS分析技術」
ワークショップ 斉藤美佐子氏(東京エレクトロン)