INE Link第7回は，熊本大学 岩津先生よりご講演頂きました．

【開催に先立ち先生から頂いたメッセージ】
過去，半導体界面の液系酸化，還元反応は，ウェットエッチング，めっき技術として良く知られています．今後，よりナノレベルの反応を実現して行く為には，真空系に対して有利な液系の反応効率性を活かしながら，弱点の異方性，制御性ほかを高められる新しい技術が必要と思います．新たな液系電解反応モデルでは，イオンを高速泳動し，配列後のイオンを瞬間反応させます．また，Dryプロセス同様に容量結合した半導体基板に非接触で酸化，還元反応を実現します．還元領域では，高速の結晶成膜，結晶配列配線，選択成膜，高AR Via，TSV埋込酸化領域では，高ORP反応，異方性，指向性エッチング，粒子捕捉などの可能性を持っていると思います．2nm最先端半導体への挑戦が始まる中，日本の得意な液系分野で新たなDe-Facto Standardの一候補技術となればと夢見て，界面ナノ技術権威の皆様との意見交換を希望します．

■2023年3月22日(水) 15:00-17:00
■場所：オンライン(Zoom)
■講演
熊本大学 産業ナノマテリアル研究所 客員教授 岩津春生先生
「液界面の新たな反応モデルの提案」
■ モデレーター：
東京エレクトロン九州株式会社 中森光則様
■参加者数：約60名

【INE Linkとは】
新型コロナの影響により直接お会いする機会が少なくなっていますが，当研究会ではオンライン開催での交流機会を増やすべく，新しい研究や技術を紹介するイベント「INE Link」を企画しました．INE Linkは人と人，人と技術，技術と技術をつなげる「場」として、シリーズ開催しています．

INE Link第6回は，日立ハイテク 大竹様よりご講演頂きました．FinFET / GAAや3D NAND / 3D DRAM構造など最先端のデバイスには3次元構造が検討されており，3次元構造を実現する等方性エッチングが強く求められています．まずドライエッチング技術で昨今検討が進むAtomic Layer Etchingについて，ガスフェーズエッチやラジカルエッチについて紹介して頂き，そのうえで，改質層を除去するドライ的アプローチと，低温化による疑似ウエットエッチアプローチを比較議論しました．今後，ウエットとドライの境界領域の学術的議論が広がり、類似性と差異の理解から新しい学問領域が生まれることを期待します．

■2022年12月9日(金) 15:00-17:00
■場所：オンライン(Zoom)
■講演
株式会社日立ハイテク プロセス東京技術センタ 部長代理 大竹浩人様
「最先端等方性ドライエッチ技術とウエットプロセスとのアナロジー」
■ モデレーター：
東京エレクトロン九州株式会社 中森光則様
■参加者数：約120名

【INE Linkとは】
新型コロナの影響により直接お会いする機会が少なくなっていますが，当研究会ではオンライン開催での交流機会を増やすべく，新しい研究や技術を紹介するイベント「INE Link」を企画しました．INE Linkは人と人，人と技術，技術と技術をつなげる「場」として、シリーズ開催しています．

INE Link第5回では，カーボンニュートラルの理解を深め，半導体ウェットプロセスの分野として各企業で何ができるかを議論しました．

■日時：2022年8月31日(水)16:00～17:30
■場所：オンライン(Zoom)
■チュートリアル
「企業を取り巻く脱炭素経営環境とサプライチェーンにおけるGHG排出量について」
長瀬産業株式会社 エレクトロニクス事業部 電子資材部(兼)サステナビリティ推進室
担当部長 山中利道 様
■パネルディスカション
「半導体ウェットプロセスにカーボンニュートラルの取り組み：サプライチェーンの中で各企業で，できること」
モデレーター：
　東京エレクトロン九州株式会社　中森光則
パネリスト：
　長瀬産業株式会社　山中利道 様
　長瀬産業株式会社　橋本和之 様
　キオクシア株式会社　吉水康人 様
■参加者数：約55名

【INE Linkとは】
新型コロナの影響により直接お会いする機会が少なくなっていますが，当研究会ではオンライン開催での交流機会を増やすべく，新しい研究や技術を紹介するイベント「INE Link」を企画しました．INE Linkは人と人，人と技術，技術と技術をつなげる「場」として、シリーズ開催しています．

INE Link第4回は，同志社大学ビジネス研究科 森良弘教授よりご講演頂きました．

■日時：2022年5月9日(月)16:00～17:30
■場所：オンライン(Zoom)
■講演：「技術で勝ってビジネスで負ける？」
同志社大学ビジネス研究科 森良弘教授
■参加者数：約65名

【INE Linkとは】
新型コロナの影響により直接お会いする機会が少なくなっていますが，当研究会ではオンライン開催での交流機会を増やすべく，新しい研究や技術を紹介するイベント「INE Link」を企画しました．INE Linkは人と人，人と技術，技術と技術をつなげる「場」として、シリーズ開催しています．

INE Link第3回は，大阪府立大学 高橋和先生，微細加工研究所 湯之上隆先生よりご講演頂きました．

■日時：2021年9月30日(木)14:00～16:30
■場所：オンライン(Zoom)
■講演１：
　「高Q値シリコンラマンレーザ研究の現状と応用」
　大阪府立大学 高橋和先生
■講演２：
　「日本の装置と材料の競争力とその源泉ーインタビューのお願いー」
　 微細加工研究所 湯之上隆先生
■参加者数：約40名

【INE Linkとは】
新型コロナの影響により直接お会いする機会が少なくなっていますが，当研究会ではオンライン開催での交流機会を増やすべく，新しい研究や技術を紹介するイベント「INE Link」を企画しました．INE Linkは人と人，人と技術，技術と技術をつなげる「場」として、シリーズ開催しています．

INE Link第2回として，大塚電子株式会社 原田様より「キラリと光(ヒカル/ヒカリ)の技術紹介」についてご講演頂きました．

■日時：2021年8月25日(水)15:00～16:45
■場所：オンライン(Zoom)
■講演：
　「キラリと光(ヒカル/ヒカリ)の技術紹介」
　大塚電子株式会社 原田拓様
■参加者数：約40名

【INE Linkとは】
新型コロナの影響により直接お会いする機会が少なくなっていますが，当研究会ではオンライン開催での交流機会を増やすべく，新しい研究や技術を紹介するイベント「INE Link」を企画しました．INE Linkは人と人，人と技術，技術と技術をつなげる「場」として、今後シリーズ開催します．

INE Link第1回として，フェムトディプロイメンツ株式会社 奥野様より「液体のテラヘルツ分光の現状とその応用」についてご講演頂きました．

■日時：2021年6月30日(水)13:00～15:00
■場所：オンライン(Zoom)
■参加者数：約40名
■講演：
　「液体のテラヘルツ分光の現状とその応用」
　フェムトディプロイメンツ株式会社 CTO 奥野雅史様
　https://femto-dp.com/ind/
■装置デモ動画
　https://femto-dp.com/quickpresentation/
■問い合わせ先
　info@femto-dp.com

【INE Linkとは】
新型コロナの影響により直接お会いする機会が少なくなっていますが，当研究会ではオンライン開催での交流機会を増やすべく，新しい研究や技術を紹介するイベント「INE Link」を企画しました．INE Linkは人と人，人と技術，技術と技術をつなげる「場」として、今後シリーズ開催します．

INE Linkオープン企画として，衆議院に設置されている科学技術・イノベーション推進特別委員会に参考人として意見陳述をされました微細加工研究所 湯之上隆 所長に，その裏話をご講演頂きました．

■日時：2021年6月18日(金) 13:00～15:00
■場所：オンライン(Zoom)
■講演：微細加工研究所 湯之上隆 所長「衆議院での意見陳述ーその舞台裏と驚きの後日談ー」
■参加者：約60名

■委員会の模様はYou Tubeにて公開されています．
湯之上先生の意見陳述：https://www.youtube.com/watch?v=iCbyGzxFPWE
委員会全体再生リスト：https://www.youtube.com/playlist?list=PLb1XJuAAuA6Vz0tT-Iqska0OS5iHlbnGy