日時：2016年2月3日(水) 13：30～17：00
場所：株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ 品川事業所
プログラム：
基調講演 有馬健太准教授(大阪大学)
「極限レベルの表面創成プロセスとクリーン化技術」
ワークショップ 永渕琢也氏(日本インテグリス)