吸着・乾燥WG合同ワークショップ 第1回 「最先端等方性ドライエッチ技術とウエットプロセスとのアナロジーの深掘り」(2023.2 田町) 2022年12月にINE Linkにてご講演頂きました日立ハイテク 大竹様に再登壇頂き,水の機能と役割について,より深い議論を行いました. ■2023年2月17日(金) 14:00-17:00 ■場所:キオクシア本社 田町ステーションタワーS■講演日立ハイテク 大竹浩人様 「最先端等方性ドライエッチ技術とウエットプロセスとのアナロジー」の深掘り■ ファシリテータ: 東京エレクトロン九州 中森光則 キオクシア 吉水康人 ■参加者数:23名