[ナノレベルの固体/液体界面で電子化学反応制御を目指して]

INFORMATION

2013-2-15
2013-2-4
第13回講演会が開催されます．
2013-1-1
研究会第2期が始まりました。

界面ナノ電子化学研究会とは？

半導体を中心とする電子デバイスのプロセス技術において，ウエット処理技術は，これまでの化学的見地だけでなく，固体／液体界面の現象をナノレベルで電気化学的見地から十分理解し，デバイス材料に及ぼす影響を先取りした研究開発が必要となりつつあります．この研究会（界面ナノ電子化学研究会）では，先端半導体デバイス，バイオデバイス，MEMSなどの電子デバイス製造において，ナノ電子化学の観点から，液体（薬液，超臨界流体など）を用いて，新たな前処理技術または加工技術を創出することを目的としています．研究開発の活動として，多くは産業界のメンバーで構成し，基礎的な固液界面の現象論から実用的な技術までを念頭に取り組んでいます．

界面ナノ電子化学研究会のコンセプト図