2013年開催

第43回 薄膜・表面物理基礎講座(2014)
 『3Dプリンター技術の基礎と今後の発展 −薄膜・表面物理技術で拡がる可能性−』  
日時:2014年11月17日(月)
場所:筑波大学 東京キャンパス文京校舎
>>> 詳細PDF

第42回 薄膜・表面物理セミナー(2014)
構造物性解明へ向けたミクロ〜マクロ計測の最前線
日時:2014年7月25日(金)
場所:東京大学本郷キャンパス 山上会館
>>> 詳細PDF

第61回 応用物理学会 春季 学術講演会シンポジウム
Developments and Challenges for Resistance Change Memories Technology
2014年3月18日
青山学院大学
 >>> 詳細PDF


表面・ナノ科学シンポジウム2014
2014年1月15日(水)〜18日(土)
新富良野プリンスホテル

第19回ゲートスタック研究会
2014年1月23日(木)〜25日(土)
ニューウェルシティー湯河原



2013年開催

平成25年 秋季講演会シンポジウム


平成25年 春季講演会シンポジウム

第14回イオンビームによる表面・界面解析
 2013年12月14日(土)〜15日(日)
 神奈川大学 横浜キャンパス


第42回 薄膜・表面物理基礎講座(2013)
 『薄膜の成長過程の解明と制御:
  薄膜のナノ構造を自由に制御するために』
 2013年11月25日(月)
 東工大蔵前会館ロイアルブルーホール
 >>> 詳細PDF


2013 IWDTF

 2013年11月7日(木)〜9日(土)
 筑波大学 東京キャンパス


ACSIN-12&ICSPM21

 2013年11月4日(月)〜8日(金)
 つくば国際会議場

第41回薄膜・表面物理セミナー(2013)
放射光を用いた構造・電子状態解析の最前線:
 2013年8月6日(火) 7日(水)
 東工大田町キャンパス
 >>> 詳細PDF


第18回ゲートスタック研究会
  ―材料・プロセス・評価の物理―
 2013 年 1 月 25 日(金)〜26 日(土)
 ニューウェルシティー湯河原


表面・ナノ科学シンポジウム2013
 2013年1月15日〜18日
 山形県山形市蔵王温泉


2012年開催

表面・ナノ科学シンポジウム 2012
2012年1月9-12日
雫石プリンスホテル

第41回薄膜・表面物理基礎講座(2012)
簡単に使えるようになります!
実験補完ツールとしての材料シミュレーション入門
2012年10月17日(水), 18日(木) 
東京工業大学 大岡山キャンパス 西2号館 W242号室
 >>> 詳細PDF

第40回 薄膜・表面物理セミナー(2012)
半導体SiC の基礎と応用
(省エネ・低炭素社会を目指したパワーデバイス開発の将来)
2012年8月3日(金)
東工大蔵前会館 ロイアルブルーホール
 >>> 詳細PDF


平成24年 春季講演会シンポジウム
「ワイドギャップ薄膜のヘテロエピタキシャル成長と界面(仮題)」
2012年3月
早稲田大学

ゲートスタック研究会
―材料・プロセス・評価の物理―(第17回研究会)
2012年1月20-21日
東レ三島総合研修センター

表面・ナノ科学シンポジウム 2012
2012年1月9-12日
雫石プリンスホテル
  >>> 詳細PDF


2011年開催

走査プローブ顕微鏡(25)〔ICSPM-19〕
  2011年12月19-21日
  洞爺湖 万世閣
  >>> 詳細PDF


第12回 イオンビームによる表面・界面解析
 2011年12月9-10日
 東京大学 生産技術研究所
 >>> 詳細PDF

第40回 薄膜・表面物理基礎講座
「ナノ材料研究者のための表面・界面の評価技術の基礎と動向」
 2011年11月10日
 産総研 臨海副都心センター別館
 >>> 詳細PDF
 >>> 概要PDF


第16回 電子デバイスにおける原子輸送および応力問題特別研究会
平成23年11月


第39回 薄膜・表面物理セミナー
「次世代ナノテクのためのナノ計測・加工技術」

 2011年10月28日
 産総研 臨海副都心センター別館

 

平成23年 秋季講演会
「放射光利用による材料・デバイス開発の最先端」
2011年8月29日
山形大学

2010 International Workshop on DIELECTRIC THIN FILMS FOR FUTURE ULSI DEVICES: SCIENCE AND TECHNOLOGY
2011年1月20〜21日、東京工業大学


2010年開催

第39回 薄膜・表面物理基礎講座(2010年)
「いまさら訊けない 太陽電池のための薄膜形成・分析技術」
2010年11月25日-26日
早稲田大学理工学術院

第38回 薄膜・表面物理セミナー(2010)
「薄膜、界面制御から見た二次電池技術」
2010年8月23日
産業技術総合研究所 臨海副都心センター

2010年(平成22年)春季 第57回応用物理学関係連合講演会
「ナノ材料・デバイスのためのプローブ顕微鏡技術」
2010年3月19日
東海大学湘南キャンパス

ゲートスタック研究会―材料・プロセス・評価の物理―(第15回研究会)
2010年1月22-23日
東レ総合研修センター
 >>> 詳細(docファイル)

表面・ナノ科学シンポジウム 2010
2010年1月15-18日
雫石プリンスホテル
 >>> 詳細(docファイル)

2009年開催

走査プローブ顕微鏡(23)〔ICSPM-17〕
2009年12月10-12日
熱川ハイツ
 >>> 詳細(docファイル)

第10回 イオンビームによる表面・界面解析
2009年11月15-19日
京都ガーデンパレス

5th International Workshop on High-Resolution Depth Profiling(HRDP-5)
2009年11月15-19日
京都ガーデンパレス
 >>> 詳細(docファイル)

第38回薄膜・表面物理基礎講座
「カーボン系材料の新展開と応用−グラフェン、DLC、カーボンナノチューブ・ダイヤモンド−」
2009年11月5-6日
早稲田大学西早稲田キャンパス

10th International Conference on Atomically Controlled Surfaces,Interfaces and Nanostructures (ACSIN-10)
2009年9月21-25日
グラナダ国際会議場(スペイン)
 >>> 詳細(pdfファイル)

2009年(平成21年)秋期
第70回 応用物理学会学術講演会

「省エネルギー社会のための半導体デバイス技術」
「金属酸化物系材料の新展開-メカニズムの解明からデバイス応用まで-」
2009年9月8-10日
富山大学

第14回 LSI配線における原子輸送および応力問題研究会
2009年7月27-28日
東京工業大学

第37回 薄膜・表面物理セミナー
有機機能性材料・デバイスの薄膜・表面分析
2009年6月26日
東京工業大学



2008年開催

第9回イオンビームによる表面・界面解析特別研究会
2008年12月5〜6日、高知工科大学
→プログラム(docファイルpdfファイル


走査型プローブ顕微鏡(22)/ICSPM(16)
2008年12月11〜13日、熱川ハイツ

第37回 薄膜・表面物理基礎講座(2008)
計算機ナノマテリアルデザイン入門
〜新物質ナノ超構造・新機能材料薄膜合成の指針を求めて〜
2008年11月21〜22日、早稲田大学理工学術院

2008 International Workshop on DIELECTRIC THIN FILMS FOR FUTURE ULSI DEVICES: SCIENCE AND TECHNOLOGY
2008年11月5〜7日、東京工業大学

第36回 薄膜・表面物理セミナー
クラスタービームによる加工・解析技術の基礎から最先端
−半導体・有機薄膜の次世代技術−

2008年7月17〜18日、東京大学理学部1号館 小柴ホール

第13回 LSI配線における原子輸送および応力問題研究会
2008年7月17〜18日、東京工業大学 大岡山キャンパス

第55回 応用物理学関係連合講演会
クラスター、ナノ粒子の作製・制御と応用
グラフェンは“面白い”、“役に立つ”―基礎物理から応用まで―

2008年3月28日、日本大学 理工学部 船橋キャンパス

表面・ナノ科学シンポジウム2008
2008年1月22〜25日、ホテル安比グランド

特別研究会(第13回)
「ゲートスタック研究会 ― 材料・プロセス・評価の物理」(シリコンテクノロジー研究会と共催)
2008年1月14〜15日、東レ総合研修センター



2007年開催

特別研究会
第8回「イオンビームによる表面・界面解析」
  2007年12月7〜8日、東北大学 金属材料研究所

15th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy (ICSPM15)
  2007年12月6〜8日、伊豆熱川 熱川ハイツ

9th International Conference on Atomically Controlled Surfaces, Interfaces and Nanostructures (ACSIN-9)
  2007年11月11〜15日、東京大学 駒場リサーチキャンパス コンベンションホール

第36回 薄膜・表面物理基礎講座(2007)
量子構造の基礎から応用まで
  2007年11月8〜9日、東京理科大学 森戸記念館・第二フォーラム

平成19年秋季講演会シンポジウム
「ナノスケール構造制御技術の最前線」
2007年9月6日、北海道工業大学

第35回 薄膜・表面物理セミナー(2007)
次世代ナノスケールメモリーの薄膜・ドット・界面制御
 2007年7月17〜18日、早稲田大学 小野記念講堂

9th International Workshop on Stress-Induced Phenomena in Metallization
  2007年4月4〜6日、PaRuRu Plaza Kyoto

特別研究会(第12回)
「ゲートスタック研究会 ― 材料・プロセス・評価の物理」(シリコンテクノロジー研究会と共催)
2007年2月2〜3日、東レ総合研修センター

表面・ナノ科学シンポジウム2007
2007年1月23〜26日、ホテル安比グランド



2006年開催

特別研究会
第7回「イオンビームによる表面・界面解析」
  2006年12月8〜9日、岡山理科大学 25号館8階 理大ホール

14th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy (ICSPM14)
  2006年 12月7〜9日 伊豆熱川 熱川ハイツ

第35回 薄膜・表面物理基礎講座(2006)
界面を非破壊で見る先端分析技術の基礎と応用
  2006年11月16〜17日、東京理科大学 神楽坂キャンパス 森戸記念館 第一フォーラム

2006 International Workshop on DIELECTRIC THIN FILMS FOR FUTURE ULSI DEVICES -SCIENCE AND TECHNOLOGY-
  2006年 11月8〜10日 川崎市産業振興会館

5th International LEEM/PEEM Conference (LEEM/PEEM-V)
  2006年 10月15〜19日 姫路市イーグレひめじ

第67回 応用物理学会学術講演会分科会企画シンポジウム
ここまで分かるー表面分析技術の極限化
  2006年8月29日、立命館大学 琵琶湖キャンパス

第34回 薄膜・表面物理セミナー(2006)
ナノエレクトロニクスに向けた技術展開 ―その場・動作状態でのデバイス計測評価技術を中心にしてー
2006年7月20〜21日、東京大学 本郷キャンパス 山上会館 大会議室

第12回 LSI配線における原子輸送・応力問題研究会
  2006年7月13〜14日、ぱ・る・るプラザ京都

第53回 応用物理学関係連合講演会分科会企画シンポジウム
ナノサイエンスとしてのカーボンナノチューブ研究
  2006年3月22日、武蔵工業大学

特別研究会(第11回)
「ゲートスタック研究会 ― 材料・プロセス・評価の物理」(シリコンテクノロジー研究会と共催)
2006年2月3〜4日、東レ総合研修センター

表面物理シンポジウム 2006
  2006年1月10〜13日、雫石プリンスホテル



2005年開催

第6回 イオンビームによる表面・界面解析
  2005年12月16〜17日、京都大学 福井謙一記念研究センター
プログラム(PDF)

第34回 薄膜・表面物理基礎講座
「ULSIデバイスの研究・開発に必要な先端分析技術:基礎から応用まで」
  2005年11月10〜11日、筑波大学東京キャンパス

第66回 応用物理学会学術講演会分科会企画シンポジウム
「古くて新しい仕事関数」
  2005年9月7日、徳島大学

第33回 薄膜・表面物理セミナー
「最先端デバイスの界面制御と電子構造」
  2005年7月14〜15日、東工大百年記念館

第11回 LSI配線における原子輸送および応力問題研究会
  2005年7月14〜15日、東京工業大学ディジタル多目的ホール

特別研究会
「走査プローブ顕微鏡(19)」
(ICSPM) STM'05 & ICSPM13
  2005年7月3〜8日、札幌国際会議場

8th International Conference on Atomically Controlled Surfaces, Interfaces and Nanostructures (ACSIN-8)
2005年6月19〜23日、Stockholm, Sweden

第52回 応用物理学関係連合講演会分科会企画シンポジウム
プローブ顕微鏡の新展開に向けて:現状と未来・可能性

  2005年3月29日、埼玉大学

特別研究会(第10回)
「ゲートスタック研究会 ― 材料・プロセス・評価の物理」(シリコンテクノロジー研究会と共催)
2005年1月27〜28日、東レ総合研修センター

「表面物理シンポジウム2005 (SSP'05)」
  2005年1月26〜29日、雫石プリンスホテル



2004年開催

特別研究会
「走査プローブ顕微鏡(18)」
(ICSPM)
2004年12月9〜11日、Atagawa, Japan

第33回 薄膜・表面物理基礎講座
「これでわかる!ダイヤモンド薄膜の基礎と応用」
2004年11月11〜12日、 青山学院大学青山キャンパス
プログラム(PDF)

第5回「イオンビームによる表面・界面解析」特別研究会
2004年10月17〜22日、伊勢志摩ロイヤルホテル
The 15th International Workshop on Inelastic Ion-Surface Collisions と共
同開催

第65回 応用物理学会学術講演会分科会企画シンポジウム
カンチレバー技術の最前線―作製から応用まで―
2004年9月1日、東北学院大学

第10回 LSI配線における原子輸送および応力問題研究会
2004年7月15〜16日、東京工業大学ディジタル多目的ホール

第32回 薄膜・表面物理セミナー
「カーボンナノチューブのエレクトロニクス応用」
2004年7月8〜9日、青山学院大学(青山キャンパス)

2004 International Workshop on DIELECTRIC THIN FILMS FOR FUTURE ULSI DEVICES: SCIENCE AND TECHNOLOGY (IWDTF-04)
2004年5月26〜28日、National Museum of Emerging Science and Innovation, Tokyo

第51回 応用物理学関係連合講演会分科会企画シンポジウム
High-kゲート絶縁膜 ー現状と課題ー
2004年3月28日、東京工科大学

応用物理学会東海支部基礎セミナー「バイオナノテクノロジー」(協賛)
2004年1月23日、名古屋工業大学

特別研究会(第9回)
「極薄シリコン酸化膜の形成・評価・信頼性」(シリコンテクノロジー研究会と共催)
2004年1月22〜23日、 熱川ハイツ

「表面物理シンポジウム2004 (SSP'04)」
  2004年1月21〜24日、雫石プリンスホテル



2003年開催

第4回「イオンビームによる表面・界面解析」特別研究会
2003年12月19〜20日、理化学研究所

特別研究会
「走査プローブ顕微鏡(17)」
SPM-17 (ICSPM11)
  2003年12月11〜13日、静岡

第7回 原子スケール表面界面ナノ構造国際会議(ACSIN-7)
  2003年11月16〜20日、奈良

第32回 薄膜・表面物理基礎講座
「最近注目されている薄膜電子材料の成膜法とその評価」
  2003年10月30〜31日、東工大・百年記念館
プログラム(pdf)

第64回 応用物理学会学術講演会分科会企画シンポジウム
原子レベル制御ナノテクノロジー:A Pre-Symposium of ACSIN-7
  2003年8月30日、福岡大学

第9回「LSI配線における原子輸送および応力問題研究会」
  2003年7月17〜18日、京都テルサ

第31回 薄膜・表面物理セミナー
「有機ナノテクノロジー」
  2003年7月10〜11日、青山学院大学

第50回 応用物理学関係連合講演会分科会企画シンポジウム
最新表面顕微鏡技術とナノテクノロジーへの応用
  2003年3月27日、神奈川大学

特別研究会
「表面物理シンポ2003 (SSP2003 国際会議)」
  2003年3月10〜13日、雫石プリンスホテル

特別研究会(第8回)
「極薄シリコン酸化膜の形成・評価・信頼性」(シリコンテクノロジー研究会と共催)
  2003年1月24〜25日、熱川ハイツ



2002年開催

International Workshop on Gate Insulator 2002
(シリコンテクノロジー分科会主催、応用物理学会、薄膜表面物理分科会、IEEE EDS, International SEMATECH, SEMI Japan, ECS Electronics Div 共催
2002年12月2〜3日、ダイヤモンドホテル

第31回 表面物理基礎講座
「遷移金属酸化物の基礎と応用」
2002年11月20〜21日、東京工業大学百年記念館

第3回「イオンビームによる表面・界面解析」特別研究会
2002年11月1〜2日、名古屋大学VBL

特別研究会
「走査プローブ顕微鏡(16)」(ICSPM-10)
2002年10月31日〜11月2日、ハワイ・ハイアットリージェンシー

第30回 表面物理セミナー
「表面・界面制御の基礎と応用」
2002年7月15〜16日、東京工業大学百年記念館

特別研究会
「第8回LSI配線における原子輸送および応力問題研究会」
2002年7月4〜5日、東京大学山上会議所

特別研究会 (第7回)
「極薄シリコン酸化膜の形成・評価・信頼性」(シリコンテクノロジー研究会と共催)
2002年1月25〜26日、静岡県加茂郡東伊豆町 熱川ハイツ

表面物理シンポジウム2002 (SSP'02)
2002年1月8〜11日、北海道 富良野プリンスホテル


2001年開催

特別研究会
「走査プローブ顕微鏡(15)」(ICSPM-9)
2001年12月6〜8日、静岡県加茂郡東伊豆町 熱川ハイツ

第2回「イオンビームによる表面・界面解析」特別研究会
2001年11月30日〜12月1日、岡山理科大学 24号館大会議室

第30回 薄膜表面物理基礎講座
「ナノテクノロジーの基礎と応用」
2001年11月21〜22日、お茶の水スクエア

平成13年度応用物理学会関西支部シンポジウム(分科会協賛)
「環境の世紀と応用物理」
2001年11月21日、大阪大学

Int. Workshop on Gate Insulator (IWGI) 2001
2001年11月1〜2日、主婦会館(東京、四谷)

第29回 表面物理セミナー
「半導体ナノテクノロジーの展開」
2001年7月23〜24日、京都大学電気系教室

6th Int. Conf. Atomically Controlled Surfaces, Interfaces and Nanostructures
2001年7月9〜12日、North Lake Tahoe, USA

8th Int. Conf. Formation of Semiconductor Interfaces (ICFSI-8)
2001年6月10〜15日、北海道大学学術交流会館

特別研究会(第6回)
「極薄シリコン酸化膜の形成・評価・信頼性」(シリコンテクノロジー研究会と共催)
2001年1月26〜27日、静岡県加茂郡東伊豆町 熱川ハイツ

特別研究会  
表面物理シンポジウム2001 (Symposium on Surface Science 2001)
2001年1月7〜13日、富良野プリンスホテル



2000年開催

特別研究会
「走査型プローブ顕微鏡(14)/アジアSTM(3)」
8th Int. Colloq. Scanning Probe Microscopy and Asian SPM (3)
2000年12月7〜9日、静岡県加茂郡東伊豆町 熱川ハイツ

研究会
「イオンビームによる表面・界面分析の新展開」
2000年11月20日、島津製作所 大阪支店

特別研究会
The Forth Japan-Russia Seminar on Semiconductor Surfaces (JRSSS-4)
2000年11月12〜19日、名古屋大学 ベンチャービジネスラボラトリー

第29回 薄膜・表面物理基礎講座(2000)
「新カーボン系材料の基礎と応用」
2000年11月9〜10日、早稲田大学国際会議場

研究会
「IT革命と先端薄膜技術」 (北陸・信越支部)
2000年11月4日、金沢大学工学部

第28回 薄膜・表面物理セミナー(2000)
「固液界面反応を用いた薄膜形成技術」
2000年7月17〜18日、早稲田大学国際会議場

特別研究会
第6回 LSI配線における原子輸送および応力問題研究会
2000年7月13〜14日、東京大学山上会館

シリコンスクール in 金沢
2000年1月28〜29日、金沢大学工学部/金沢シティーモンドホテル

特別研究会 (第5回)
「極薄シリコン酸化膜の形成評価・信頼性」
2000年1月21〜22日、NTT 御殿場研修センター

表面物理シンポジウム
2000年1月8〜11日、富良野プリンスホテル



1999年開催

特別研究会
走査型プローブ顕微鏡(13) (ICSPM-7)
1999年12月9〜11日、静岡県加茂郡東伊豆町 熱川ハイツ

第28回 薄膜・表面物理基礎講座(1999)
「半導体表面のエッチング技術」
1999年11月15〜16日、早稲田大学理工学部55号館N棟1階大会議室

第2回 非接触原子間力顕微鏡法国際ワークショップ
1999年9月1〜4日、Ponstresina, Swiss

研究会 
第5回 LSI配線における原子輸送および応力問題研究会
1999年7月26〜27日、東京大学 山上会館

第27回 薄膜・表面物理セミナー
「次世代ディスプレイの発光技術」
1999年7月22〜23日、学習院大学

表面物理シンポジウム '99 (SSP'99)
1999年3月9〜12日、富良野プリンスホテル

特別研究会(第4回)
「極薄シリコン酸化膜の形成評価・信頼性」
1999年1月22〜23日、NTT 御殿場研修センター



1998年開催

第27回 薄膜・表面物理基礎講座(1998)
「薄膜の界面構造/組成および物性評価技術」
1998年11月16〜17日、東京工業大学国際交流会館

平成10年度「科学と生活」のフェスティバル
1998年7月25〜26日、広島市子供文化科学館

第26回 薄膜・表面物理セミナー
「化合物半導体の表面・界面制御とデバイス作製への応用」
1998年7月21〜22日、早稲田大学国際会議場

特別研究会
「走査型トンネル顕微鏡(12)」
1st International Workshop on Noncontact Atomic Force Microscopy
1998年7月21〜23日、大阪大学

第4回 LSI配線における原子輸送および応力問題研究会
1998年5月28〜29日、京大会館

特別研究会」(第3回)
「極薄シリコン酸化膜の形成・評価・信頼性」
1998年1月23〜24日、NTT御殿場研修センター(静岡県御殿場市)



1997年開催

特別研究会
「走査型トンネル顕微鏡(11)」('97.12.11-13)

第26回 薄膜・表面物理基礎講座
「エピタキシャル成長の基礎」('97.11.17 - 18)

第25回 薄膜・表面物理セミナー
「21世紀の金属酸化物を展望する」('97.7.24-25)

1997年度 第1回研究会
「活性ビームによる表面反応」('97.6.23)

1997年  特別研究会(第2回)
「極薄シリコン酸化膜の形成・評価・信頼性」('97.1.10-11)



1996年開催

1996年度 特別研究会
「走査型トンネル顕微鏡(10)」('96.12.12-14)

1996年度 第5回研究会
「表面反応と構造形成」(1996.11.22)

第25回 薄膜・表面物理基礎講座
「薄膜の構造解析とシミュレーション」 (1996.11.18-20)

第24回 薄膜・表面物理セミナー
「表面薄膜成長のゆらぎと自己組織的ナノスケール構造形成ー半導体技術のブレークスルーをめざしてー」
(1996.7.16-18)


1995年開催

第24回 基礎講座
「表面反応を用いる薄膜・プロセス技術の基礎」
(1995.11.7-8)

第23回 セミナー
「近世代ジャイアントマイクロエレクトロニクスセミナー (液晶ディスプレイ(AM-LCD)を中心として)」
(1995.7.13-14)


1994年開催

第23回 基礎講座
「電子顕微鏡−入門から極微デバイス構造まで」 1994.11.8-10

第22回 セミナー
「ULSIプロセス技術と薄膜・表面物理」 1994.7.12-14

第20回 セミナー
「半導体プロセスの基礎としての科学」 1992.7.8-10

第21回 セミナー
「発光材料としてのSiおよび関連物質」 1993.7.7-9

第21回 基礎講座
「ヘテロ界面の科学」 1993.2.8-10

第22回 基礎講座
「マイクロアナリシス−基礎と最新技術」 1994.2.7-9

第20回 基礎講座
「新しい気相成長技術のための科学」 1992.2.3-5

第19回 セミナー
「膜成長とその場観察」 1991.7.3-5

第19回 基礎講座
「プラズマによる薄膜形成プロセスの基礎」 1991.1.31-2.2

第18回 セミナー
「化合物半導体テクノロジーと薄膜・表面物理」 1990.7.11-13

第18回 ウィークエンドレクチャー
「薄膜作成と評価技法の基礎」 1990.1.26-3.16

第17回 セミナー
「シリコンテクノロジーと薄膜・表面物理」 1989.7.19-21

第17回 土曜講座
「薄膜表面・界面評価技術の基礎」 1989.1.21-3.11

第16回 セミナー
「薄膜表面・界面の極微小領域評価技術」 1988.7.13-16

第16回 土曜講座
「半導体超薄膜作製とデバイスへの応用」 1988.1.23-2.27