第35回　薄膜・表面物理セミナー（2007）
次世代ナノスケールメモリーの薄膜・ドット・界面制御

主催：応用物理学会　薄膜・表面物理分科会

協賛：日本物理学会、日本化学会、日本金属学会、日本表面科学会、電子情報通信学会、電気学会、日本真空協会、日本顕微鏡学会（依頼中）

　近年半導体技術及び市場の牽引者であるメモリー製品の将来動向が注目されています．この理由として、従来の記録素子が微細化限界を迎えつつあること、次世代ナノスケールメモリーでは素子内の薄膜・ドット・界面で生じる新しい物理現象の原理的理解が急務であることなどが考えられます．本セミナーでは、微細化が急ピッチで進むフラッシュメモリーから先物メモリーまでの最新研究動向だけでなく、ナノサイズの各種材料における薄膜・ドット・界面制御の重要性を絡めて紹介いたします．

日時：
平成 19 年 7 月 17 日 ( 火 ) 10 : 00 -17 : 00
　　　　　　　　　　 18 日 ( 水 ) 10 : 00 -16 : 50

場所：
早稲田大学　小野記念講堂
（東京都新宿区西早稲田1-6-1）
http://www.waseda.jp/cac/html/access03.htm 　（西早稲田キャンパスアクセスマップ）
http://www.waseda.jp/jp/culture/map.html 　（キャンパス内マップ）

１．プログラム：：題目をクリックすると要旨がご覧になれます。

日時
講演題目
講師
7月17日(火)
10:00〜11:00 ナノスケールメモリーの将来展望とその重要性 岩井 洋
（東工大）
11:00〜11:50 NAND型フラッシュメモリーの現状とその将来展望 遠藤哲郎
（東北大）
11:50〜13:20 昼休憩
13:20〜14:10 MONOS型メモリーの電子および正孔トラップの解析 石田 猛（日立）
14:10〜15:00 SNDMを用いたFlashメモリの蓄積電荷の可視化(MONOS型ならびにFloating-Gate型メモリセル中の電荷分布) 本田耕一郎
（富士通研）
15:00〜15:20 休憩
15:20〜16:10 Si系量子ドットを用いた浮遊ゲートメモリー（ナノドットへの電荷捕獲） 宮崎誠一
（広大）
16:10〜17:00 Siナノクリスタルを用いた２重トンネル接合メモリー（Siクリスタルを介した電子のトンネル現象） 大場竜二
（東芝）
7月18日(水)
10:00〜10:50 MgOトンネル磁気抵抗素子の巨大TMR効果とMRAMおよびHDD磁気ヘッドへの応用 湯浅新治
（産総研）
10:50〜11:40 FeRAMの最近の進展と強誘電体ゲート構造メモリ 徳光永輔
（東工大）
11:40〜13:10 昼休憩
13:10〜14:00 相変化メモリの動向 高浦則克
（日立）
14:00〜14:50 金属/酸化物/金属構造における電気抵抗スイッチング現象 井上 公
（産総研）
14:50〜15:10 休憩
15:10〜16:00 カルコゲン薄膜応用ナノスケール光超解像ディスクとその応用　- SUPER-RENS 富永淳二
（産総研）
16:00〜16:50 熱アシスト磁気記録用高効率近接場光発生素子の開発 松本拓也
（日立）

２．参加費 ：テキスト代、消費税を含む

薄膜・表面物理分科会会員 *

応用物理学会会員 **
協賛学協会会員

学生

その他

15,000 円

20,000 円

3,000 円

25,000 円

* 薄膜・表面物理分科会賛助会社の方は分科会会員扱いといたします．
** 応用物理学会賛助会社の方は，応用物理学会会員扱いといたします．

現在非会員の方でも，参加登録時に薄膜・表面物理分科会 ( 年会費 A 会員： 3,000 円， B 会員： 2,200 円 ) にご入会いただければ，本セミナーより会員扱いとさせていただきます．
http://www.jsap.or.jp/ より入会登録を行い，仮会員番号を取得後，本セミナーにお申込み下さい． 入会決定後，年会費請求書をお送りいたします．（年会費をセミナー参加費と同時にお振込なさらないで下さい）


３．定員：
100 名 ( 満員になり次第締め切ります )


４．参加申込締切： 2007 年 7 月 3 日（火） 7 月 12 日（木）


５．参加申込方法：
ここから参加登録してください．

参加登録完了後，下記銀行口座に参加費をご連絡いただいた期日までにお振込ください．原則として参加費の払い戻し，請求書の発行は致しません．領収書は当日会場にてお渡しいたします．


６．受講費振込先：
三井住友銀行 本店営業部（本店でも可）
普通預金 　口座番号： 9474715
( 社 ) 　応用物理学会薄膜・表面物理分科会
( シャ ) 　オウヨウブツリガッカイハクマク・ヒョウメンブツリブンカカイ


７．セミナー内容問合せ先：
東京大学 工学系研究科物理工学専攻
目良 裕
TEL : 03-5841-6852
FAX : 03-5841-6852
E-Mail : mera＠exp.t.u-tokyo.ac.jp

（株）東芝 LSI 基盤技術ラボラトリー
村岡 浩一
TEL : 045-770-3229
FAX : 045-770-3286
E-Mail: muraoka＠amc.toshiba.co.jp


８．参加登録問合せ先：
応用物理学会事務局分科会担当
伊丹 文子
TEL : 03-3238-1043
FAX : 03-3221-6245
E-Mail: divisions＠jsap.or.jp