吸着・乾燥WG合同ワークショップ 第4回 「シン・IPAに存在する金属不純物のウェハへの吸着挙動」(2023.6 田町)

2015年より活動を開始した吸着WGの原点に立ち返り,「IPAに存在する金属不純物のウェハへの吸着挙動」について,この8年の間に蓄積された情報を活用しつつ再度議論を行いました.

■2023年6月28日(水) 13:00-17:00
■場所:キオクシア本社 田町ステーションタワーS
■ ファシリテータ:
 キオクシア 吉水康人
 オルガノ 矢野大作
■参加者数:21名