第13回講演会 (2013.3 芝浦工大)

本講演会は,微細化の進んだ半導体生産工程において問題となるナノ粒子について,第一線で活躍する大学等の先生を招待し講演をして頂き,最先端においてはどのような研究がなされているか,産学関係者が集い,学び,情報共有ができる「場」を提供することを目的として行われました.また,講演会終了後には第14回カサロス(懇親会)を開催しました.

日時:2013年3月22日(金) 13:00~17:00
会場:芝浦工業大学 交流棟5階501教室
参加者: 約80名 

13:00~13:10「開会の辞」真田俊之(静岡大)
13:10~14:10「エアロゾルナノテクノロジー:ナノ粒子の発生・計測・制御とその応用」瀬戸章文(金沢大)
14:10~14:30「ナノ粒子のキャラクタリゼーション」栩野成視(堀場製作所)
14:30~14:50「NanoVision Technology®によるナノ粒子測定(仮)」加藤和年(スペクトリス)
15:10~16:10「粒径計測の現状と標準物質の必要性」加藤晴久(産総研)
16:10~16:30「ナノ粒子測定の新たな挑戦」河野俊幸(島津製作所)
16:30~16:50「光散乱法による液体材料中粒子の測定」近藤郁(リオン)
16:50~17:00「閉会の辞」上野和良(芝浦工大)