イベントカレンダーEvent Calendar
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27th ADMETAPlus 2017（Advanced Metallization Conference 2017: 27th Asian Session）
日 時：チュートリアル(日本語)：2017年10月18日(水) ／ 本会議(英語)：2017年10月19日(木)～20日(金)場 所：東京大学 弥生講堂・一条ホール（本郷キャンパス）テーマ：シリコンエレクトロニクスに関連する配線技術を中心とした、材料、プロセス、デバイス技術全般 -
第202回 研究集会
日 時：2017年11月9日(木) - 10日(金)場 所：機械振興会館テーマ：プロセス・デバイス・回路シミュレーションおよび一般 -
第39回ドライプロセスシンポジウムDPS2017
日 時：2017年11月16日(木) - 17日(金)場 所：東京工業大学蔵前会館テーマ：A1. Surface reactions for atomic layer controlled processes (ALE/ALD)
A2. Etching technologies for latest devices having high-aspect-ratio of 50 or more (HAR）