歴代組織

2022年度第24期本分科会の組織

常任幹事会

幹事長
遠藤和彦(産総研)
副幹事長
井田次郎(金沢工大)
水野文二(UJTラボ)
常務幹事
会計
澤野憲太郎(都市大)
和田涼太(日新イオン機器)
庶務
水林 亘(産総研)
肥後昭男(東大)
業務
研究集会:鎌倉良成(大阪工大)、布村正太(産総研)
HP/会員:中塚 理(名大)、野田泰史(パナソニック)

ULSIデバイス研究委員会

委員長
松川貴(産総研)
幹事
高木信一(東大)
山本芳樹(ルネサスエレクトロニクス)
櫻庭政夫(東北大)
南雲俊治(キオクシア)
外園 明(キオクシア)
島 明生(日立製作所)
津田是文(ルネサスエレクトロニクス)
宮下 桂(東芝デバイス&ストレージ)
菊池善明(ソニー)
加藤公彦(産総研)

表面・界面・シリコン材料研究委員会

委員長
野平博司(都市大)
幹事
廣瀬和之(JAXA)
藤岡 洋(東大)
羽路伸夫(横浜国大)
酒井 朗(阪大)
影島博之(島根大)
喜多浩之(東大)
荒木浩司(グローバルウェーハズ・ジャパン)
森田行則(産総研)
牧原克典(名大)
高橋芳浩(日大)
太子敏則(信州大)
角嶋邦之(東工大)
蓮沼 隆(筑波大)
 

多層配線システム研究委員会

委員長
松永範昭(アプライドマテリアルズ)
幹事
古澤健志(日立化成)
植木 誠(ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング)
多田宗弘(ナノブリッジ・セミコンダクター)
井上史大(横浜国大)
竹口直樹(Western Digital)
福島誉史(東北大)
百瀬 健(東大)
小野昇子(三井化学)
中塚 理(名大)

モデリング研究委員会

委員長
園田賢一郎(ルネサスエレクトロニクス)
幹事
青木伸俊(キオクシア)
佐藤成生(ユナイテッド・セミコンダクター・ジャパン)
森 伸也(阪大)
佐野伸行(筑波大)
林 洋一(ラピステクノロジー)
羽根正巳(ルネサスエレクトロニクス)
高篠裕行(ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング)
相馬聡文(神戸大)
小田嘉則(アドバンスソフト)
中野誠彦(慶大)
廣木 彰(京都工繊大)

接合技術研究会

委員長
柴田 聡(パナソニックオペレーショナルエクセレンス)
幹事
伊藤裕之(アプライドマテリアルズ)
筒井一生(東工大)
大内和也(キオクシア)
右田真司(産総研)
峰地 輝(住友重機イオンテクノロジー)
加藤慎一(SCREENセミコンダクターソリューションズ)
岡本浩樹(キオクシア)
山口 直(ルネサスエレクトロニクス)
品田賢宏(東北大)
中島良樹(アクセリス・テクノロジー)

Siナノテクノロジー研究委員会

委員長
寒川誠二(東北大)
幹事
山崎 聡(産総研)
増田 淳(新潟大)
深津 晋(東大)
森江 隆(九工大)
藤原 聡(NTT)
三木一司(兵庫県立大)
水田 博(北陸先端大)
二瓶史行(NEC)
浦岡行治(奈良先端大)
阪本利司(NEC)
伊藤公平(慶大)
斎木敏治(慶大)
村山明宏(北大)
宇佐美徳隆(名大)
宮本良之(産総研)
種村眞幸(名工大)
高橋綱己(東大)
張 文馨(産総研)
野村政宏(東大)

ナノ・マイクロファブリケーション研究委員会

委員長
近藤博基(名古屋大)
幹事
木下啓藏(アイオーコア)
一木隆範(東大)
佐々木俊行(キオクシア)
平田瑛子(ソニーセミコンダクタソリューションズ)
谷本明佳(日立製作所)
江利口浩二(京大)
小川大輔(中部大学)

講演会大分類 「シリコンA」プログラム委員会

委員長
曽根正人(東工大)
中岡俊裕(上智大)
幹事
小林正治(東大)

Silicon Nanoelectronics Workshop委員会

幹事
冨岡克広(北大)
  

ADMETA委員会

 
町田英明(気相成長)

SDRJ委員会

委員長
林 喜宏(産総研)
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