2026年6月29日(月) 13:25-17:15
第266回 研究集会 シリコンテクノロジー分科会
開催場所
TCU Shibuya PXU（東京都市大学渋谷パクス）
〒150-0043 東京都渋谷区道玄坂1－10－7 五島育英会ビル8階（対面開催）
| テーマ | MOSデバイス・メモリ・パワーデバイス高性能化 －材料・プロセス技術－ |
|---|---|
| 参加費 | ・シリコンテクノロジー特別会員・賛助会員 口数分無料 ・シリコン継続会員 無料 ・シリテク分科会会員 2,000円 ・その他 5,500円 ・学生 無料 |
| 共催 | 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会 応用物理学会、電子情報通信学会、東京都市大学渋谷パクス |
プログラム
13:25～13:30 冒頭挨拶
(1) 13:30～14:05
[招待講演] ゲート・オール・アラウンド(GAA)構造を持つ積層シリコンナノシートトランジスタ試作に対応した300mm共有パイロットライン～半導体構造パラダイムシフトへの対応～
林 喜宏・入沢寿史（産総研）
(2) 14:05～14:40
[招待講演] Ge-on-Nothing構造に基づく高品質Ge-on-Insulator基板の作製
山本圭介（熊本大）・王 冬（九大）・Roger Loo・Clément Porret・
Valérie Depauw（imec）・Jinyoun Cho・Kristof Dessein（Umicore）
(3) 14:40～15:15
[招待講演] Sn系IV族混晶ヘテロ構造の結晶成長および量子物性制御
中塚 理・柴山茂久・黒澤昌志・坂下満男（名大）
--- 休憩（15:15～15:30）---
(4) 15:30～16:05
[招待講演] 導電性AFMによるWSe2の選択的欠陥イメージング
下村侑生・澤井悠太（NIMS/都立大）・榊原涼太郎・渡邊賢司・谷口 尚（NIMS）・
吉田昭二（筑波大）・宮田耕充（NIMS/都立大）
(5) 16:05～16:40
[招待講演] スピン分解顕微ARPESの開発と多結晶材料への応用
津田俊輔（NIMS）
(6) 16:40～17:15
[招待講演] 光電流顕微鏡による単一欠陥中心計測：ダイヤモンドNV中心の観測と空間分解能
中村駿希（東北大）・森岡直也・水落憲和（京大）・水上成美・森下弘樹（東北大）
(1) 13:30～14:05
[招待講演] ゲート・オール・アラウンド(GAA)構造を持つ積層シリコンナノシートトランジスタ試作に対応した300mm共有パイロットライン～半導体構造パラダイムシフトへの対応～
林 喜宏・入沢寿史（産総研）
(2) 14:05～14:40
[招待講演] Ge-on-Nothing構造に基づく高品質Ge-on-Insulator基板の作製
山本圭介（熊本大）・王 冬（九大）・Roger Loo・Clément Porret・
Valérie Depauw（imec）・Jinyoun Cho・Kristof Dessein（Umicore）
(3) 14:40～15:15
[招待講演] Sn系IV族混晶ヘテロ構造の結晶成長および量子物性制御
中塚 理・柴山茂久・黒澤昌志・坂下満男（名大）
--- 休憩（15:15～15:30）---
(4) 15:30～16:05
[招待講演] 導電性AFMによるWSe2の選択的欠陥イメージング
下村侑生・澤井悠太（NIMS/都立大）・榊原涼太郎・渡邊賢司・谷口 尚（NIMS）・
吉田昭二（筑波大）・宮田耕充（NIMS/都立大）
(5) 16:05～16:40
[招待講演] スピン分解顕微ARPESの開発と多結晶材料への応用
津田俊輔（NIMS）
(6) 16:40～17:15
[招待講演] 光電流顕微鏡による単一欠陥中心計測：ダイヤモンドNV中心の観測と空間分解能
中村駿希（東北大）・森岡直也・水落憲和（京大）・水上成美・森下弘樹（東北大）